一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构制造技术

本发明专利技术公开了一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构，包括侧面加热器和底部加热器；其中侧面加热器采用两个沿轴向通过绝缘件紧固连接的铜环作为电极，分别为第一铜电极和第二铜电极，在这两个铜电极上分别沿周向安装有多个U型钨棒形成筒状结构作为发热体，且U型钨棒在第一铜电极和第二铜电极上分别按轴对称排列方式固定；底部加热器采用双螺旋钨丝根据热场需要构建同心发热环，双螺旋钨丝通过双螺旋连接螺丝连接于电极板上，底部通过U型支撑钨棒支撑。本发明专利技术所提供的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构可以为大规格尺寸蓝宝石晶体的生长创造有利的热场条件，同时有效降低了蓝宝石炉的生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石晶体生长设备
，特别涉及一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构。
技术介绍
目前，蓝宝石衬底企业和LED外延厂商的应用都以2英寸和4英寸为主衬底，随着LED的应用越来越广泛，国内外外延厂商逐渐引入4英寸及6英寸外延生产工艺和设备，4英寸、6英寸蓝宝石衬底将促进成本的大幅度降低，对大尺寸蓝宝石衬底的需求也将迅速升温，从而促进蓝大规格尺寸蓝宝石晶体生长炉市场需求激增。在晶体的生长过程中，需要一定的轴向梯度和径向·梯度。而传统的蓝宝石泡生炉只能满足小规格尺寸蓝宝石晶体的生长，而晶体直径一旦超过300mm之后，所需要的温度梯度仅仅靠单一的加热器已经很难形成比较可靠且理想的温度梯度，导致晶体的良率及品质比较低。现有的实施方案一如图1所示，采用单一鸟笼式加热器01，无底部加热器；采用单一电源供电，采用2个半圆形铜环，多组U型钨棒的两端分别固定在2个半圆形铜环上，另外有用鹤棒做成的半圆环固定在U型鹤棒中间,构建出鸟笼式鹤棒加热结构。现有的蓝宝石泡生炉均采用了鸟笼式钨棒加热器，但是存在以下的缺点温场的结构在加热器及保温屏安装之后，温场的轴向及径向温度梯度都已经定型，就是安装之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构，其特征在于，包括：侧面加热器（1），采用两个沿轴向通过绝缘件紧固连接的铜环作为电极，分别为第一铜电极（14）和第二铜电极（15），在这两个铜电极上分别沿周向安装有多个U型钨棒（12）形成筒状结构作为发热体，且所述U型钨棒（12）在所述第一铜电极（14）和所述第二铜电极（15）上分别按轴对称排列方式固定；底部加热器（3），采用双螺旋钨丝（31）根据热场需要构建同心发热环，所述双螺旋钨丝（31）通过双螺旋连接螺丝（38）连接于电极板（34）上，底部通过U型支撑钨棒（32）支撑。

【技术特征摘要】
1.一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构，其特征在于，包括 侧面加热器(I )，采用两个沿轴向通过绝缘件紧固连接的铜环作为电极，分别为第一铜电极(14)和第二铜电极(15)，在这两个铜电极上分别沿周向安装有多个U型钨棒(12)形成筒状结构作为发热体，且所述U型钨棒(12)在所述第一铜电极(14)和所述第二铜电极(15)上分别按轴对称排列方式固定； 底部加热器(3)，采用双螺旋钨丝(31)根据热场需要构建同心发热环，所述双螺旋钨丝(31)通过双螺旋连接螺丝(38)连接于电极板(34)上，底部通过U型支撑钨棒(32)支撑。2.根据权利要求1所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构，其特征在于，两个所述铜电极上的所述U型钨棒(12)相间排布在同一个圆周上。3.根据权利要求2所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构，其特征在于，两个所述铜电极上分别开设有用于安装所述U型钨棒(12)的安装孔，且位于下方的所述第一铜电极(14)的内壁上与所述第二铜电极(15)上的安装孔相对的位置开设有凹槽，用于供安装在所述第二铜电极(15)上的所述U型钨棒(12)通过。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，吴智洪，刘自强，
申请(专利权)人：上海昀丰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：