一种晶体铸造炉的一体加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶体铸造炉的一体加热器，包括一体成型的柱状的陶瓷纤维炉，陶瓷纤维炉的炉壁厚度大于25mm，陶瓷纤维炉内设置有螺旋形的电热丝，电热丝通过绝缘片固定在陶瓷纤维炉的内壁上，电热丝的上端和下端与总电源连接，所述陶瓷纤维炉内从上至下依次分为第一温控层、第二温控层和第三温控层，本实用新型专利技术结构简单，节约成本，安装省力，避免浪费人工安装费，柱状的所述陶瓷纤维炉在采用一体成型的工艺制成，整个炉体密度和厚度都比较均匀，使得炉内的整体温度也比较均匀，并且通过控制器控制第一电源、第二电源和第三电源实现了炉内的温度的分区，提供不同的温度需要，并且根据热电偶的反馈进行实时动态的温度调节。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种晶体铸造炉的一体加热器，包括一体成型的柱状的陶瓷纤维炉，陶瓷纤维炉的炉壁厚度大于25mm，陶瓷纤维炉内设置有螺旋形的电热丝，电热丝通过绝缘片固定在陶瓷纤维炉的内壁上，电热丝的上端和下端与总电源连接，所述陶瓷纤维炉内从上至下依次分为第一温控层、第二温控层和第三温控层，本技术结构简单，节约成本，安装省力，避免浪费人工安装费，柱状的所述陶瓷纤维炉在采用一体成型的工艺制成，整个炉体密度和厚度都比较均匀，使得炉内的整体温度也比较均匀，并且通过控制器控制第一电源、第二电源和第三电源实现了炉内的温度的分区，提供不同的温度需要，并且根据热电偶的反馈进行实时动态的温度调节。【专利说明】一种晶体铸造炉的一体加热器
本技术涉及一种晶体铸造炉中使用的一体加热器。
技术介绍
近年来，国内半导体相关行业蓬勃发展，各半导体公司都在进行单晶，多晶铸造炉 的自主研发和改善。因此，出现了各种各样形式的晶体铸造炉。采用的结构形式不一，采用 的加热元器件不一，采用的加热元器件固定方式不一，采用的保温材料不一，各式各样，层 出不穷。 现有技术中炉壁是用多块纤维条进行拼接，而纤维条因为工艺本身的原因，不可 能做到厚度密度的均一化，所以不同部位其保温效果也有差异，再加上由于是拼接的原因， 接缝处的保温效果也会比较差，因此造成了整个炉腔内温度均一性不是很好。目前用于该 炉的纤维条只能从国外进口，国内的品质更差。安装纤维条需要一条一条进行长度和宽度 的修正，安装比较麻烦。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为克服上述问题，提供一种具有多温区并且采 用一体成型的炉壁的一种晶体铸造炉中使用的一体加热器。 本技术解决其技术问题所采用的技术方案是： -种晶体铸造炉的一体加热器，包括一体成型的柱状的陶瓷纤维炉，所述陶瓷纤 维炉的炉壁厚度大于25mm，所述陶瓷纤维炉内设置有螺旋形的电热丝，所述电热丝通过绝 缘片固定在所述陶瓷纤维炉的内壁上，所述电热丝的上端和下端与总电源连接，所述陶瓷 纤维炉内从上至下依次分为第一温控层、第二温控层和第三温控层，所述第一温控层内的 电热丝还与第一分电源连接，所述第二温控层内的电热丝还与第二分电源连接，所述第三 温控层内的电热丝还与第三分电源连接，所述第一温控层、第二温控层和第三温控层内分 别设置有第一热电偶、第二热电偶和第三热电偶，所述总电源、第一分电源、第二分电源、第 三分电源、第一热电偶、第二热电偶和第三热电偶都与一控制器连接。 优选地，所述陶瓷纤维炉的内直径为600-700mm，高度为1200-2000mm。 优选地，所述控制器连接有显示器。 优选地，所述控制器还连接有键盘、报警装置和LED指示灯。 本技术的有益效果是：本技术结构简单，节约成本，安装省力，避免浪费 人工安装费，所述陶瓷纤维炉内为加热产品的空间，柱状的所述陶瓷纤维炉在采用一体成 型的工艺制成，整个炉体密度和厚度都比较均匀，使得炉内的整体温度也比较均匀，避免了 现有技术中都是用多块纤维条进行拼接，而纤维条因为工艺本身的原因，不可能做到厚度 密度的均一化；并且本新型中通过控制器控制第一电源、第二电源和第三电源实现了炉内 的温度的分区，提供不同的温度需要，并且根据热电偶的反馈进行实时动态的温度调节，还 配置有报警装置和LED指示灯，提高安全性。 【专利附图】【附图说明】 toon] 下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。 图1是本技术一个实施例的结构示意图； 图2是本技术中所述陶瓷纤维炉的俯视图。 图中标记：1-陶瓷纤维炉，2-绝缘片，3-电热丝，4-总电源，5-控制器，6-第一分 电源，7-第二分电源，8-第三分电源，9-第一热电偶，10-第二热电偶，11-第三热电偶。 【具体实施方式】 现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图， 仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。 如图1所示的本技术所述一种晶体铸造炉的一体加热器，包括一体成型的柱 状的陶瓷纤维炉1，如图2中所示，所述陶瓷纤维炉1内为加热产品的空间，本新型中，柱状 的所述陶瓷纤维炉1在采用一体成型的工艺制成，整个炉体密度和厚度都比较均匀，使得 炉内的整体温度也比较均匀，避免了现有技术中都是用多块纤维条进行拼接，而纤维条因 为工艺本身的原因，不可能做到厚度密度的均一化，所以不同部位其保温效果也有差异，再 加上由于是拼接的原因，接缝处的保温效果也会比较差，因此造成了整个炉腔内温度均一 性不是很好。 所述陶瓷纤维炉1的炉壁厚度大于25mm，才能保证陶瓷纤维炉1的隔温性能，所述 陶瓷纤维炉1内设置有螺旋形的电热丝3,在本实施例中，所述电热丝3采用铁铬铝电热合 金，但不限于此，还可以采用其他常规材料，所述电热丝3通过绝缘片2固定在所述陶瓷纤 维炉1的内壁上，如图2所示，所述绝缘片2均匀的设置在所述陶瓷纤维炉1的内壁上，将 所述电热丝3保持螺旋的形状，所述绝缘片2在本实施例中采用陶瓷，但不限于陶瓷，还可 以采用其他绝缘材料，所述电热丝3的上端和下端与总电源4连接，在整体加热时，采用总 电源4进行供电，所述陶瓷纤维炉1内从上至下依次分为第一温控层、第二温控层和第三温 控层，三个温控层分别可以实现炉内的温度的分区，提供不同的温度需要，所述第一温控层 内的电热丝3还与第一分电源6连接，所述第二温控层内的电热丝3还与第二分电源7连 接，所述第三温控层内的电热丝3还与第三分电源8连接，当需要各段温度不同时，通过三 个分电源进行辅助独立供电，所述第一温控层、第二温控层和第三温控层内分别设置有第 一热电偶9、第二热电偶10和第三热电偶11，每个温控层内设置的热电偶用于检测温控层 内的温度，所述总电源4、第一分电源6、第二分电源7、第三分电源8、第一热电偶9、第二热 电偶10和第三热电偶11都与一控制器5连接，所述控制器5在本实施例中为工业上常用 的PLC控制器，当需要调节一个温控层内的温度时，在所述控制器5内输入指令，第一分电 源6、第二分电源7和第三分电源8根据控制器5的指令供应对应的电压，当某一温控层的 温度超过设定温度时，热电偶会实时的将温控层内的温度实时反馈给控制器5,所述控制器 5再对分电源进行调节。 在优选的实施方案中，所述陶瓷纤维炉1的内直径为600-700mm，高度为 1200-2000mm，此尺寸为优选的尺寸，具体大小还可以根据需要进行设置。 在优选的实施方案中，所述控制器5连接有显示器，在本实施例中，所述显示器为 液晶显示器，用于显示各温区的温度等信息。 在优选的实施方案中，所述控制器5还连接有键盘、报警装置和LED指示灯，可通 过键盘进行指令输入，所述报警装置在出现故障或者炉内温度超过设定等情况下进行报 警，提醒使用者；所述LED指示灯可以用于显示控制器5和其他设备的工作状态。 以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人 员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实 用新型的技术性范围并不局限本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶体铸造炉的一体加热器，其特征在于，包括一体成型的柱状的陶瓷纤维炉，所述陶瓷纤维炉的炉壁厚度大于25mm，所述陶瓷纤维炉内设置有螺旋形的电热丝，所述电热丝通过绝缘片固定在所述陶瓷纤维炉的内壁上，所述电热丝的上端和下端与总电源连接，所述陶瓷纤维炉内从上至下依次分为第一温控层、第二温控层和第三温控层，所述第一温控层内的电热丝还与第一分电源连接，所述第二温控层内的电热丝还与第二分电源连接，所述第三温控层内的电热丝还与第三分电源连接，所述第一温控层、第二温控层和第三温控层内分别设置有第一热电偶、第二热电偶和第三热电偶，所述总电源、第一分电源、第二分电源、第三分电源、第一热电偶、第二热电偶和第三热电偶都与一控制器连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陶治平，严继军，陆祖良，
申请(专利权)人：苏州伊索来特耐火纤维有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32