一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构制造技术

本发明专利技术公开了一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，采用双螺旋钨丝作为发热元，并通过支撑结构支撑固定。与现有技术中钨制网带提供的均匀热场结构相比，本发明专利技术实施例提供的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，采用双螺旋钨丝作为底部加热器的发热元使用，其优势是较小的长度能提供比较大的电阻值，同时具有相当的柔韧度，并能在较小的空间能进行弯曲，使其能够根据热场需要加工成适应的形状，产生比较理想的径向和轴向温度梯度，为大规格尺寸蓝宝石晶体生长创造有利的热场条件；另一方面，与钨制网带相比有相当大的价格优势，更重要的是加工制作容易。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石长晶设备
，特别涉及一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构。
技术介绍
目前，蓝宝石衬底企业和LED外延厂商的应用都以2英寸和4英寸为主衬底，随着LED的应用越来越广泛，国内外外延厂商逐渐引入4英寸及6英寸外延生产工艺和设备，4英寸和6英寸蓝宝石衬底将促进成本的大幅度降低，对大尺寸蓝宝石衬底的需求也将迅速升温，从而促进大规格尺寸蓝宝石晶体生长炉市场需求激增。在晶体的生长过程中，需要一定的轴向温度梯度和径向温度梯度，而传统的蓝宝石泡生炉只能满足小规格尺寸蓝宝石晶体的生长，而晶体直径一旦超过350mm之后，所需要的温度梯度仅仅靠单一的加热器已经很难形成比较可靠且理想的温度梯度，导致晶体的良率及品质比较低，所以在大规格的蓝宝石炉的结构中双加热器或者多加热器结构就变的不可或缺；而在这双加热器或者多加热器结构中，底部加热器在形成理想的温度梯度及理想的温场过程中，显得最为关键。在 晶体生长过程中，通过控制底部加热器在不同生长阶段的功率，形成晶体在不同生长阶段所需的温度梯度。另外由于蓝宝石炉温场底部的空间及结构的限制，要设计出一个合理的底部加热器，将关系到蓝宝石生长炉的成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，其特征在于，采用双螺旋钨丝（1）作为发热元，并通过支撑结构支撑固定。

【技术特征摘要】
1.一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，其特征在于，采用双螺旋钨丝(I)作为发热元，并通过支撑结构支撑固定。2.根据权利要求1所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，其特征在于，所述双螺旋钨丝(I)构成多个同心的发热环。3.根据权利要求2所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，其特征在于，所述双螺旋钨丝(I)的截径、中径、螺距、长度以及所述发热环的直径具体为通过热场分析软件CGSIM软件进行模拟分析计算确定。4.根据权利要求1-3任意一项所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，其特征在于，所述双螺旋钨丝(I)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，吴智洪，刘自强，
申请(专利权)人：上海昀丰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：