【技术实现步骤摘要】
双向排气爪型泵
本技术涉及一种双向排气爪型泵，属于真空
技术介绍
爪型泵是一种变容积干式真空泵，由装在泵体内的一对平行轴上的多级转子构 成，轴端齿轮驱动同步反向运转。爪型泵抽气过程中泵腔内不含油类等液体介质，对被抽容 器以及工作环境无污染，所以在半导体、电子、化工和制药行业得到了广泛的应用。爪型泵 一般由三级转子串联在转子轴上，每级的两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气 口与排气口分别设在两侧端盖的侧面上，由转子在旋转过程中自动开闭，并控制容积由大 到小、由小到大不断变化，来达到抽真空的目的，但由于爪型泵自身结构的限制，其进气口 和排气口尺寸都很小，通常的进气口、排气口直径为25 80mm，真空系统内的气体不能有 效抽出，极大地限制了爪型泵的抽气速率。
技术实现思路
根据以上现有技术中的不足，本技术要解决的技术问题是提供一种结构紧 凑合理且能够提高泵体真空度和抽气速率的双向排气爪型泵。本技术所述的双向排气爪型泵，包括电机、泵体和泵体内平行安装的主动轴 与从动轴，主动轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，主动 轴连接电机，其特征在于泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成，每级泵腔中设置一对 转子，每对转子由相互啮合的主动转子和从动转子组成，主动转子、从动转子分别安装在主 动轴、从动轴上，位于泵体中间位置的中间级泵腔连接进气口，位于泵体两端的最后一级泵 腔上分别设有上端盖、下端盖，上、下端盖上有排气口。工作原理及过程工作时，双向排气爪型泵从真空系统吸入气体，气体经过进气口进入中间级泵腔， 之后气体向上、向下分为两路，经过中...
【技术保护点】
一种双向排气爪型泵，包括电机（1）、泵体和泵体内平行安装的主动轴（7）与从动轴（9），主动轴（7）上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴（9）上，主动轴（7）连接电机（1），其特征在于：泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成，每级泵腔中设置一对转子，每对转子由相互啮合的主动转子和从动转子组成，主动转子、从动转子分别安装在主动轴、从动轴上，位于泵体中间位置的中间级泵腔（13）连接进气口（6），位于泵体两端的最后一级泵腔（6）上分别设置上端盖（10）、下端盖（2），上、下端盖上均设有排气口（8）。
【技术特征摘要】
1.一种双向排气爪型泵，包括电机(I)、泵体和泵体内平行安装的主动轴(7)与从动轴(9)，主动轴(7)上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴(9)上，主动轴(7)连接电机(1)，其特征在于泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成，每级泵腔中设置一对转子，每对转子由相互啮合的主动转子和从动转子组成，主动转子、从动转子分别安装在主动轴、从动轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖庆涛，崔峰，刘元华，
申请(专利权)人：淄博沃德气体设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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