【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种带升降真空爪的六自由度微动台,含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块,还含有真空吸盘(4)、微动台上盖(3)和基座(1),所述真空吸盘(4)设置在微动台上盖(3)的上表面的凹槽内,并与电磁力驱动模块的动子部分连接在一起,其特征在于:所述的六自由度微动台还含有一个升降真空爪(5),所述的升降真空爪(5)布置在微动台上盖(3)的下方,该升降真空爪(5)包括驱动模块、导向模块和测量模块;所述的驱动模块采用一个动圈式音圈电机,音圈电机底座(18)上沿圆周方向均布有至少四个真空抓取柱(16),真空抓取柱(16)为细长中空管,真空抓取柱(16)的真空气路通过音圈电机底座(18)中的环形槽彼此连通;多个真空抓取柱(16)分别穿入真空吸盘(4)和微动台上盖(3)对应的多个孔中;音圈电机的线圈和线圈骨架(15)固定在音圈电机底座(18)中;音圈电机的永磁体部分通过一个音圈电机固定环(17)通过六自由度微动台的驱动模块的定子部分与基座(1)连接在一起;所述的导向模块包含两组微型滚珠导轨,该两组 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张鸣,朱煜,刘召,成荣,杨开明,徐登峰,张利,赵彦坡,秦慧超,胡清平,田丽,叶伟楠,张金,尹文生,穆海华,胡金春,
申请(专利权)人:清华大学,北京华卓精科科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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