【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电性能测试，尤其涉及一种具有纳米尺度空间分辨率的电荷陷阱参数定量测试方法。
技术介绍
1、电介质材料在制备过程中会形成陷阱，陷阱的存在可以积聚电荷、改善电性能，陷阱的参数特性(如结构、陷阱能级、陷阱密度等参数)与电介质材料的电荷特性有直接关系，以此，可通过测试陷阱的参数提高电介质材料的电性能。
2、已有方案中可通过宏观的等温表面电位衰减法或者显微镜(如原子力显微镜)测量电介质材料的电荷陷阱参数，其中，等温表面电位衰减法通过测试电介质材料的衰减过程，得到材料整体的电荷陷阱参数，但该方法只能获得电介质材料在宏观上的整体结构或性能参数，无法得到纳米级的电介质材料的陷阱结构参数；而显微镜可利用探针与电介质材料表面的原子间作用力得到纳米级的表面形态结构信息，但显微镜也只能进行电介质材料陷阱的结构表征，无法准确反映电介质材料中的陷阱参数。
技术实现思路
1、本申请提供一种具有纳米尺度空间分辨率的电荷陷阱参数定量测试方法，用以准确反映电介质材料中的陷阱参数。
2、第一方...
【技术保护点】
1.一种电荷陷阱参数测试方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面电势包括第一表面电势和/或第二表面电势；所述基于所述待测样品的电荷注入状态，获取所述目标区域的表面电势，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一表面电势包括初始表面电势和饱和表面电势；所述在所述待测样品接受电荷注入时，获取所述目标区域的第一表面电势，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面电势包括第一表面电势和第二表面电势，所述电荷陷阱参数包括电荷衰减参数，所述电荷衰减参数表征所述目标区域的电荷衰减
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【技术特征摘要】
1.一种电荷陷阱参数测试方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面电势包括第一表面电势和/或第二表面电势；所述基于所述待测样品的电荷注入状态，获取所述目标区域的表面电势，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一表面电势包括初始表面电势和饱和表面电势；所述在所述待测样品接受电荷注入时，获取所述目标区域的第一表面电势，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面电势包括第一表面电势和第二表面电势，所述电荷陷阱参数包括电荷衰减参数，所述电荷衰减参数表征所述目标区域的电荷衰减速率；
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一表面电势包括初始表面电势和饱和表面电势，所述饱和表面电势表征所述目标区域的电荷达到饱和状态时的表面电势；
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面电势包括第二表面电势，所述电荷陷阱参数包括陷...
【专利技术属性】
技术研发人员：李琦，何金良，罗臻，冉昭玉，梁家杰，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：
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