【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种带真空抓取抬升机构的六自由度微动台,含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块,还含有真空吸盘(4)、微动台上盖(3)和基座(1);所述的真空吸盘(4)设置在微动台上盖(3)上表面的凹槽内并与电磁力驱动模块的动子部分连接在一起,其特征在于:所述的六自由度微动台还含有一个真空抓取抬升机构(5),所述的真空抓取抬升机构(5)布置在微动台上盖(3)的下方,该真空抓取抬升机构(5)包括驱动模块、导向模块和测量模块;所述的驱动模块是一个动铁式音圈电机,该音圈电机的动子部分由音圈电机固定环(17)、圆柱空心永磁体(11)、音圈电机轭铁(12)和音圈电机极头(14)共同组成;所述的圆柱空心永磁体(11)与音圈电机轭铁(12)和音圈电机极头(14)三者同轴连接在一起,音圈电机轭铁(12)与圆柱空心永磁体(11)之间形成了一个环形深槽;音圈电机固定环(17)套在音圈电机轭铁(12)外部并与之固定在一起;圆柱空心永磁体(11)的充磁方向沿中心轴线方向充磁;在音圈电机固定环(17)上沿圆周方向均布有 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱煜,张鸣,成荣,杨开明,刘召,刘昊,徐登峰,张利,赵彦坡,田丽,叶伟楠,张金,胡金春,穆海华,尹文生,秦慧超,胡清平,
申请(专利权)人:清华大学,北京华卓精科科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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