一种多级浮动涡旋真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开一种多级浮动涡旋真空泵，包括若干真空泵，每一真空泵包括：一固定涡卷基座；一位于基座上的固定涡卷；以及一与固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷；其中，位于固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口，位于固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口；排气口具有一排气阀组件，排气阀组件可开启或关闭所述排气口；每一下游的真空泵的进气口通过气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。使用本实用新型专利技术，下游真空泵从上游真空泵的排气口中抽气，以此降低上游真空泵排气口下容积内的压力。打破进气口和排气口的动态平衡。从排气口向进气口的回流减少，增加了从进气口抽取的气体，从而降低上游进气口的气体压力，提高进气口的极限真空度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种多级浮动涡旋真空泵
本技术涉及一种真空泵的
，尤其涉及一种多级浮动涡旋真空泵的技 术领域。
技术介绍
在机械领域，涡卷式装置用于压缩机和膨胀机，涡卷是在一个端板上延伸出一个 具有螺旋剖面的柱面的元件。通常一个是固定的，叫做固定涡卷。另一个涡卷具有与固定 涡卷的螺旋柱面相共轭的螺旋柱面，并相对于固定涡卷做圆形的平动，也叫绕动，被称为绕 动涡卷。这两种涡卷的互相共轭的螺旋式涡卷柱面相互啮合形成线接触。一对相邻的线接触与端板表面之间至少形成一个密封的压缩气室。当一个绕动涡 卷相对于固定涡卷做绕动运动时，在螺旋型侧壁上的线接触会沿着该侧壁移动，从而改变 密封气室的大小。而绕动运动的方向将决定密封气室膨胀或是压缩流体。通过固定涡卷和绕动涡卷之间形成密闭性线接触的真空泵，通过进气口抽取气 体，以降低进气口的气体压力，提高进气口真空度。现有的真空泵常采用固定涡卷和绕动涡 卷多圈涡卷元件的方式。涡卷的圈数越多则从排气口到进气口通过压缩气室之间的内泄漏 会越低，从而提高了真空泵的抽气极限真空度。但采用多圈涡卷元件的话，由于做绕动运动 时位于压缩区内的空气压力会提高，尤其是在抽真空的早本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多级浮动涡旋真空泵，包括若干串联连接的真空泵，每一所述真空泵包括：?一固定涡卷基座；?一位于所述基座上的固定涡卷；以及?一相对于所述固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷；?其特征在于，位于所述固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口，位于所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口；所述排气口具有一排气阀组件，所述排气阀组件可开启或关闭所述排气口；所述真空泵还包括气管，每一下游的真空泵的进气口通过所述气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。

【技术特征摘要】
1.一种多级浮动涡旋真空泵，包括若干串联连接的真空泵，每一所述真空泵包括 一固定涡卷基座； 一位于所述基座上的固定涡卷；以及 一相对于所述固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷； 其特征在于，位于所述固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口，位于所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口 ；所述排气口具有一排气阀组件，所述排气阀组件可开启或关闭所述排气口 ；所述真空泵还包括气管，每一下游的真空泵的进气口通过所述气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。2.根据权利要求1所述多级浮动涡旋真空泵，其特征在于，所述排气阀组件包括舌簧阀片和限位板，所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上还具有气阀室，所述气阀室通过所述气管与下游的所述真空泵的进气口连接，并且所述气阀室贯穿所述基座，所述限位板的一端固设在所述气阀室内的固定涡卷的端板上，并且所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪诗茂，
申请(专利权)人：思科涡旋科技杭州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：