下载一种多级浮动涡旋真空泵的技术资料

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本实用新型公开一种多级浮动涡旋真空泵,包括若干真空泵,每一真空泵包括:一固定涡卷基座;一位于基座上的固定涡卷;以及一与固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷;其中,位于固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口,位于固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口...
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