下载双向排气爪型泵的技术资料

文档序号:8583374

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本实用新型属于真空技术领域,具体涉及一种双向排气爪型泵,包括电机、泵体和泵体内平行安装的主动轴与从动轴,主动轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,主动轴连接电机,其特征在于:泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成,每级...
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