【技术实现步骤摘要】
技术介绍
专利
本专利技术涉及一种在衬底上形成具有更精确形状但形状畸变小的烧蚀特征物的方法和设备，尤其适用于聚合物衬底。相关技术的描述用掩模和成像透镜系统在聚合物材料上形成激光器烧蚀特征物是众所周知的。在此工艺中，用激光照射掩模上的特征物。然后，将透过掩模上透明图案的激光成像到诸如聚合物薄膜等衬底上，在衬底上发生烧蚀过程。附图说明图1示出了传统准分子激光器加工系统的基本布局。一般地说，计算机通过与系统操作人员联系的接口控制系统。计算机控制启动脉冲激光器系统和伺服系统。伺服系统的功能是，对掩模和衬底卡盘定位，以便将激光器研压(milled)图案与衬底上的其它特征物适当对准。为此，通常将一可视系统(未图示)与计算机系统相连。伺服系统或计算机可以控制衰减模块，以改变进入系统中的紫外线辐射量。另一种方法是，通过调节激光器的高电压或者控制能量设置点来改变激光器的脉冲能量，并由激光器内部脉冲的能量控制回路保持激光器的脉冲能量。在此图中，用箭头表示紫外线光束的光路，它体现了系统内部紫外线能量的流向(这里，箭头只是示意性的，并不表示实际的光线线路，一般两路光线不平行)。紫外线功...
【技术保护点】
一种在衬底中形成激光烧蚀特征物的激光器设备，其特征在于，包括：辐射源，它能够发射激光；掩模，用于照射位于辐射源和被照射衬底之间的所述烧蚀特征物；至少一个延迟片，它选自以下物体组成的组：旋转板、固定的可调节板，以及自转板，所述板位 于辐射源和掩模之间；其中所述设备形成一烧蚀特征物，与以前用不包含所述旋转半波片或自转四分之一波片的激光设备在衬底上形成的特征物相比，所述特征物具有所述掩模上所述特征物的更精确的形状。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：CL休梅克，DJ特雷德维尔，B布格哈特，SV戈沃科夫，
申请(专利权)人：美国三M公司，麦克罗拉斯激光体系有限公司，兰姆达物理有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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