【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过激光烧蚀改变目的物表面领域，以及使用激光对于表面及由这类烧蚀方法改变后的目的物进行修正的方法。利用激光束来改变表面是公知的。早在二十世纪八十年代即已发现，以紫外频率范围发出的脉冲激光，通过烧蚀作用的光致分解(APD)能够改变目的物的表面。后来曾经发现，通过采用APD，可以除去的目的物材料层约为每一脉冲1微米目的物材料的数量级。另外还曾指出，APD并不对重新又直接暴露在被烧蚀材料下面的材料的特性产生显著性蚀变。这种现象被解释为，由于紫外激光器在足够短的时间周期内提供的足够能量，实际上能破坏聚合的目的物材料的共价键但不会对其基底加热(参见美国专利Nos.4，417，948及4，568，632)。此外，采用APD的扫描方法已在美国专利5，061，342中公开。根据进一步研究还曾发现，某些材料当被烧蚀时能够产生不等量的被烧蚀有机物残渣，其中有些会再沉积在目的物材料的表面上。据认为，这种再沉积的残渣能以某种方式阻止对于被烧蚀的目的物表面予示蚀变的企图。此外，还曾发现，某些材料不能象其它材料那样被干干净净地进行蚀刻。对于目的物的表面进行烧蚀，一方面还要...
【技术保护点】
一种光致烧蚀目的物表面的方法，其特征在于，所包括的步骤为：ａ）将分束后的脉冲紫外辐射光束同时射在目的物表面上的平分线上，以及ｂ）让该分束光束的各条光束沿着彼此分离且离开上述平分线方向，朝向目的物表面的相反边缘进行扫描，以使整个目的物表面都能够被扫描。
【技术特征摘要】
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