一种激光烧蚀靶材及其制备方法技术

技术编号:11543810 阅读:94 留言:0更新日期:2015-06-03 17:41
本发明专利技术公开了一种激光烧蚀靶材及其制备方法,上述激光烧蚀靶材,依次由(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层、复合材料层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层制成,各层之间涂有粘合剂。本发明专利技术还提供了上述激光烧蚀靶材的制备方法。本发明专利技术的操作工艺简单方便,可以通过该方法生产不同组成厚度、不同宽度的激光烧蚀靶材。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种激光烧蚀靶材,其特征在于,依次由(氯乙烯‑乙酸乙烯酯)共聚物层、复合材料层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层制成,各层之间涂有粘合剂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:费金华
申请(专利权)人:吴江华诚复合材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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