【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过激光烧蚀改变目的物表面领域，以及使用激光对于表面领域，以及使用激光对于表面及由这类烧蚀方法改变后的目的物进行精加工的方法。利用激光束来改变表面是已知的。早在二十世纪八十年代即已发现，以紫外频率范围发出的脉冲激光，通过烧蚀作用的光致分解(APD)能够改变目的物的表面。后来曾经发现，通过采用APD，可以除去的目的物材料层约为每一脉冲1微米目的物材料的数量级。另外还曾指出，APD并不对重新又直接暴露在被烧蚀材料下面的材料的特性产生显著性蚀变。这种现象被解释为，由于紫外激光器在足够短的时间周期内提供的足够能量，实际上能够破坏聚合的目的物材料的共价键而不会对其基底加热(参见美国专利Nos.4，417，948及4，568，632)。此外，采用APD的扫描方法已在美国专利5，061，342中公开。根据进一步进行研究，还曾发现，某些材料当被烧蚀时能够产生不等量的烧蚀有机物残渣，其中有些会再沉积在目的物材料的表面上。据认为，这种再沉积的残渣能够阻止对于被烧蚀的目的物表面予示蚀变的企图。此外，还曾发现，某些材料不能象其它材料那样被干干净净地进行蚀刻。对于目的物...
【技术保护点】
一种通过烧蚀改变目的物表面同时又能避免烧蚀残渣积聚的方法，其特征在于包括下述步骤：ａ）将脉冲的紫外辐射光束射在目的物表面上要求被除去最少量材料处所在的位置，以及ｂ）让该光束沿着朝向目的物表面上要求被除去最大量材料处所在部分的方向进行扫描。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。