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本发明涉及一种用于提高在衬底上形成的激光烧蚀特征物之形状的精度的过程，尤其在衬底为聚合物制品的情况下。所述过程包括用透过延迟片的激光照射聚合物制品，其中延迟片选自：固定可调节的片、旋转片和自转片。延迟片最好是四分之一波或半波的倍数。本发明还...该专利属于美国3M公司;麦克罗拉斯激光体系有限公司;兰姆达物理有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国3M公司;麦克罗拉斯激光体系有限公司;兰姆达物理有限公司授权不得商用。