分体式结构碳/碳坩埚制造技术

技术编号:8505669 阅读:241 留言:0更新日期:2013-03-30 02:21
一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗和埚筒且接触连接,其特征在于:所述埚碗在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环组成,每层圆环分为多段且采用斜面接触连接。本实用新型专利技术的埚碗采用多等份,埚筒由多层圆环组成且每层圆环分为多段,当内部的石英坩埚形变时分散了石英坩埚对碳/碳坩埚的应力,提高了其使用寿命。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉用碳/碳坩埚,具体涉及一种分体式结构碳/碳坩埚。 
技术介绍
在单晶炉热场中石墨或碳/碳坩埚对石英坩埚起到支撑作用,现有的石墨或碳/碳坩埚由径向的多瓣或轴向的多部分构成。 使用时,将石墨或碳/碳坩埚放置在埚托上,由于石墨或碳/碳坩埚由径向的多瓣或轴向的多部分组成,此类设计在一定程度上缓解了石英坩埚软化时对石墨或碳/碳坩埚壁的压力,并且使石墨或碳/碳坩埚损坏时只需更换部分即可使用,但各瓣或各部分仍要承受石英坩埚形变时所产生的应力,对其寿命造成一定影响。 
技术实现思路
本技术的目的是提供一种分体式结构碳/碳坩埚,以解决现有存在的坩埚对石英坩埚形变所产生的应力无法扩散,从而导致其使用寿命短的问题。 本技术的目的是这样实现的,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗和埚筒且接触连接,所述埚碗在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环组成,每层圆环分为多段且采用斜面接触连接。 所述圆环为3-10层,每层圆环分为4~8段,所述斜面与埚筒径向夹角为30°~45°,所述埚碗在圆周方向上分为20~100等高等份。 所述埚碗每两等份之间的缝隙用形状相同的填充块填充,所述埚碗外侧沿径向向内镶嵌有外围固定环。 所述圆环相邻两层之间的接缝处相互错开,并采用销钉固定。 所述埚筒为两个,包括埚筒I和埚筒II且接触连接。 本技术具有如下有益效果:本技术的埚碗采用多等份,埚筒由多层圆环组成且每层圆环分为多段,当内部的石英坩埚形变时分散了石英坩埚对碳/碳坩埚的应力,提高了其使用寿命。 r>附图说明图1为本技术结构示意图; 图2为本技术埚筒结构示意图; 图3为本技术单层圆环拼接示意图; 图4为本技术埚碗结构示意图; 图5为本技术碳/碳填充块形状示意图; 图6为本技术埚碗外镶嵌外围固定环示意图; 图7为本技术整体结构示意图; 图中,1.埚筒I,2.埚筒II,3.埚碗,4.圆环,5.外围固定环,6.销钉。 具体实施方式一种分体式结构碳/碳坩埚,参见图1,包括埚碗3和至少一个埚筒,埚筒与埚碗3接触连接;每一个埚筒在轴向上分为5层~10层圆环4,参见图2;每层圆环4等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角a为30°~45°,参见图3。 圆环4相邻两层之间的接缝处相互错开,防止各层之间的接缝处处在同一条直线上,以保证碳/碳坩埚的稳定性,参见图2,且使用16个~23个φ9mm的销钉6固定,参见图3。埚碗3在圆周方向上分为20~100等高等份,参见图4。 每两等份埚碗3之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,参见图5。 埚碗3外侧距离底部开口80mm~150mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为40mm~70mm的外围固定环5,用来使埚碗3的各等份及碳/碳填充块固定,参见图6。 实施例1,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗3、埚筒I1、埚筒II2且接触连接,埚筒I1、埚筒II2均由7层圆弧条拼接而成的 圆环4组成,每层圆环4等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角为40°,各层圆环4之间交叉拼接,使用20个φ9mm的销钉6固定,埚碗3在圆周方向上分为72等高等份,每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,然后在埚碗3外侧距离底部开口100mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为60mm的外围固定环5固定埚碗3。 实施例2,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗3、埚筒I1、埚筒II2且接触连接,埚筒I1、埚筒II2均由10层圆弧条拼接而成的圆环4组成,每层圆环4等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角为45°,各层圆环4之间交叉拼接,使用23个φ9mm的销钉6固定,埚碗3在圆周方向上分为100等高等份,每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,然后在埚碗3外侧距离底部开口150mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为70mm的外围固定环5固定埚碗3。 实施例3,一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗3、埚筒I1、埚筒II2且接触连接,埚筒I1、埚筒II2均由5层圆弧条拼接而成的圆环4组成,每层圆环等分为4段,采用斜面接触连接,斜面与埚筒径向夹角为30°,各层圆环4之间交叉拼接,使用16个φ9mm的销钉6固定,埚碗3在圆周方向上分为20等高等份,每两等份之间的缝隙采用形状相同的碳/碳填充块填充,然后在埚碗3外侧距离底部开口80mm处沿埚碗3径向向内镶嵌宽度为40mm的外围固定环5固定埚碗3。 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗(3)和至少一个埚筒且接触连接,其特征在于:所述埚碗(3)在圆周方向上为多等份,所述埚筒由多层圆环(4)组成,每层圆环(4)分为多段且采用斜面接触连接。

【技术特征摘要】
1.一种分体式结构碳/碳坩埚,包括埚碗(3)和至少一个埚筒且
接触连接,其特征在于:所述埚碗(3)在圆周方向上为多等份,所
述埚筒由多层圆环(4)组成,每层圆环(4)分为多段且采用斜面接
触连接。
2.如权利要求1所述的分体式结构碳/碳坩埚,其特征在于:所
述圆环(4)为3-10层,每层圆环(4)分为4~8段,所述斜面与埚
筒径向夹角为30°~45°,所述埚碗(3)在圆周方向上分为20~100
等高等份。
3...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨少平胡燕恒
申请(专利权)人:银川隆基硅材料有限公司宁夏隆基硅材料有限公司西安隆基硅材料股份有限公司无锡隆基硅材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1