【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种高温炉用工装，具体地说是一种坩埚，特别是涉及一种碳/ 碳复合材料组合坩埚。
技术介绍
目前，单晶炉拉制单晶硅棒时，盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的坩埚内，在保护性气氛中加热熔化，调控到工艺温度后，籽晶经导流筒插入熔融多晶硅液中，坩埚放在埚托上由其下的埚托轴带动一同旋转，同时，籽晶也逆向旋转并向上提升， 使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。在单晶硅棒拉制过程中，炉内温度高达1500°C左右，此时，石英坩埚变软，要靠外面的坩埚承托，拉晶后残留的石英坩埚常紧贴坩埚内壁。由于石英坩埚是一次性工装，必须逐炉更换，当坩埚为整体结构时，则石英坩埚去除较为困难，去除时甚至损坏坩埚。当坩埚采用多瓣结构时，如石墨坩埚，因其力学性能较差，石墨坩埚在高温环境中使用，要承托石英坩埚及原材料的重量，并处于旋转状态，在外力的作用下容易破裂，因此，目前单晶炉用石墨坩埚一般采用多瓣结构。为提高了坩埚的力学性能，也有采用碳/碳复合材料制备多瓣结构坩埚。坩埚采用多瓣结构虽然能解决去除石英坩埚残体的问题，但其多瓣结构仅靠其底锥面与埚托的内锥面配合而成为一体，...
【技术保护点】
１．一种碳／碳复合材料组合坩埚，它包括埚体，所述的埚体由２瓣～４瓣埚碗（２）组成，其特征是相邻埚碗（２）上分别设有连接孔，连接块（３）通过插入连接孔的连接销（４）安装在埚碗（２）上，通过连接销（４）将相邻埚碗（２）用连接块（３）组合成整体坩埚。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：廖寄乔，邰卫平，王跃军，李军，龚玉良，
申请(专利权)人：湖南金博复合材料科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。