一种LED衬底材料生长的控制系统技术方案

本发明专利技术提供了一种LED衬底材料生长的控制系统，包括：主系统、籽晶旋转分系统、籽晶升降分系统、电源控制分系统、晶体成像分系统以及晶体称重系统，其中，所述主系统包括：可编程逻辑控制器、开关量输入模块、开关量输出模块、模数转换模块、数模转换模块、串口通讯模块、第一计数模块以及第二计数模块。其中，分系统通过各个模块与主系统相连，有效的解决了现有技术中由于晶体生长炉中各个子系统不能集成而导致的控制繁琐、成本高的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生长
，更具体的说，是涉及一种LED衬底材料生长的控制系统。
技术介绍
随着科技的不断发展，LED在手机、数码产品、电视机以及平板显示器等电子产品中得到了广泛的应用。LED的制备过程分为上游、中游和下游三个阶段，其中，上游为衬底材料制备阶段，主要包括晶体生长、晶体掏棒、切片、抛光等，中游为晶圆的加工阶段，主要包括电极、腐蚀、光刻、图形、剪薄、清洗、检测等，下游为封装阶段，主要包括划片、粘片、烧结、压焊、封装、化切、分选、包装等。从上述LED的制备过程可以看出，上游的衬底材料是决定LED颜色、亮度、·寿命等性能指标的主要因素，即衬底材料是LED照明的基础。目前，LED衬底材料的制备设备通常为俄罗斯以及乌克兰进口的晶体生长炉，包括加热器电源功率控制系统、籽晶旋转和升降系统以及称重系统。专利技术人发现这类设备中的各个子系统都是单独控制的，无法集成且需要设备操作人员具有较高的技术背景，这就导致了现有技术中的晶体生长炉的控制过程繁琐、经济成本高，因此，如何将各个子系统集成到一个控制装置中，做集中控制一直是业界亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LED衬底材料生长的控制系统，其特征在于，包括：主系统、籽晶旋转分系统、籽晶升降分系统、电源控制分系统、晶体成像分系统以及晶体称重分系统，其中，所述主系统包括：可编程逻辑控制器、开关量输入模块、开关量输出模块、模数转换模块、数模转换模块、串口通讯模块、第一计数模块以及第二计数模块；所述籽晶旋转分系统通过所述第一计数模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述第一计数模块用于检测所述籽晶旋转分系统中的旋转驱动器输出的脉冲个数；所述籽晶升降分系统通过所述第二计数模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述第二计数模块用于检测所述籽晶升降分系统中的升降驱动器输出的脉冲个数；所述电源控制分系统通过所述串口通讯模块...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，汪海波，廖德元，邓鹏飞，
申请(专利权)人：上海昀丰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：