下载一种LED衬底材料生长的控制系统的技术资料

文档序号:8485426

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本发明提供了一种LED衬底材料生长的控制系统,包括:主系统、籽晶旋转分系统、籽晶升降分系统、电源控制分系统、晶体成像分系统以及晶体称重系统,其中,所述主系统包括:可编程逻辑控制器、开关量输入模块、开关量输出模块、模数转换模块、数模转换模块、...
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