【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及加热
，具体涉及一种真空镀膜机。
技术介绍
在卷绕式真空镀膜机中，装有送料辊、冷却滚筒，以及展平辊。送料辊上装有基体膜卷。基体膜卷上的基体膜依次绕过冷却滚筒、展平辊。通过展平辊对基体膜进行展平，在展平后对通过蒸发源将金属蒸汽蒸到基体膜上，完成镀膜操作。在镀膜工作中至少有送料辊、冷却滚筒、展平辊，三个旋转部件需要精确配合工作。因为基体膜非常薄，非常脆弱，在这些旋转部件进料速度出现差池后，很容易造成基体膜撕裂的故障。要精确控制三个部件的进料速度完全同步非常困难，需要复杂的机械机构，·以及自动化系统进行支持，会带来成本高。另外传统的真空镀膜机，采用的真空泵都是扩散泵。扩散泵存在耗能高、启动时间长、抽真空效果差等问题。扩散泵所消耗的能耗，已经占据了整个真空镀膜机的能耗的一大部分。在镀膜工作中至少有送料辊、冷却滚筒、展平辊，三个旋转部件需要精确配合工作。因为基体膜非常薄，非常脆弱，在这些旋转部件进料速度出现差池后，很容易造成基体膜撕裂的故障。要精确控制三个部件的进料速度完全同步非常困难，需要复杂的机械机构，以及自动化系统进行支持，会带来成本高。专利技术...
【技术保护点】
无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，所述抽真空系统连接所述镀膜室为所述镀膜室抽取真空，其特征在于：所述抽真空系统中设有真空泵系统，所述真空泵采用罗茨泵系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈生贩，陈显东，江裕捺，陈生镇，陈发杰，
申请(专利权)人：上海宏昊企业发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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