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本发明涉及加热技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，抽真空系统连接镀膜室为镀膜室抽取真空，抽真空系统中设有真空泵系统，真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效...
该专利属于上海宏昊企业发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏昊企业发展有限公司授权不得商用。

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