一种超材料及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种超材料及其制备方法，在真空环境下，将蒸镀容器中所需成膜的金属加热至蒸发温度，使金属升华，在低温的基板上形成晶核，然后长大合并形成厚度均匀的金属膜。利用真空蒸镀法为基板镀膜，制成的金属膜纯度高，厚度也可以根据蒸镀时间控制至纳米量级；并且成膜快、效率高，工艺重复性好，无污染、环保；大大减少了金属用量，尤其当选择贵金属作为超材料微结构时，可以降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及超材料领域，尤其涉及一种超材料及其制备方法。
技术介绍
超材料是一种以人造结构为基本单元、并以特定方式进行空间排布的具有自然界材料所不具有的、特殊物理化学性质的新型材料，它的特殊性质不是由其材料本身的化学组成，而是由其人造结构的特征所决定的。超材料的特殊性质在很大程度上取决于材料的关键物理尺度，例如晶体在原子尺度上是排列有序的，正因为如此，晶体材料拥有一些无定型态所不具有的物理特征，由此类比，在其它层次上的有序排列则可能获得一定程度的自然界中的材料所不具有的物理性质。超材料包括人造结构以及人造结构所附着的材料，该附着材料对人造结构起到支撑作用，因此可以是任何与人造结构不同的材料，这两种材料的叠加会在空间中产生一个等效介电常数与磁导率，而这两个物理参数分别对应了材料的电场响应与磁场响应。超材料的制备在技术上目前主要通过光蚀刻、电化学沉积等技术在基底材料上镀上有特定重复图案的铜层来实现。由于光蚀刻等技术本身的限制，r>基底材料一般为硬本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超材料的制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括以下步骤：将洁净并干燥后的基板放置在蒸镀容器内的工作台上；在真空环境下，将蒸镀容器内的金属加热直至升华成为金属蒸汽；所述的金属蒸汽通过掩膜板在基板上形成一层均匀的金属膜，金属膜图案为超材料的微结构。

【技术特征摘要】
1.一种超材料的制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括以下步骤：
将洁净并干燥后的基板放置在蒸镀容器内的工作台上；
在真空环境下，将蒸镀容器内的金属加热直至升华成为金属蒸汽；
所述的金属蒸汽通过掩膜板在基板上形成一层均匀的金属膜，金属膜图案为
超材料的微结构。
2.根据权利要求1所述的超材料的制备方法，其特征在于：所述的步骤进
一步包括：为使所述的基板表面平整，在基板洁净并干燥之前对所述的基板
抛光处理。
3.根据权利要求1所述的超材料的制备方法，其特征在于：所述的蒸镀容
器设置有使金属原子往同一个方向运动的电场。
4.根据权利要求1所述的超材料的制备方法，其特征在于：所述的金属与
电源相连，采用电加热所述的金属。
5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘若鹏，赵治亚，法布里齐亚，何雪涵，
申请(专利权)人：深圳光启高等理工研究院，深圳光启创新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：