下载一种超材料及其制备方法的技术资料

文档序号:8410333

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本发明提供一种超材料及其制备方法,在真空环境下,将蒸镀容器中所需成膜的金属加热至蒸发温度,使金属升华,在低温的基板上形成晶核,然后长大合并形成厚度均匀的金属膜。利用真空蒸镀法为基板镀膜,制成的金属膜纯度高,厚度也可以根据蒸镀时间控制至纳米量...
该专利属于深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司授权不得商用。

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