成膜装置制造方法及图纸

一种成膜装置，构成包括蒸镀釜及其内的加热部，在所述的蒸镀釜内与所述的加热部的蒸汽出汽口相对的是基板及其移动夹具；用档板与所述蒸镀釜分隔的副釜；蒸镀溶液供给部，该蒸镀溶液供给部的供给管直通所述的副釜内；贯通所述挡板从所述副釜至所述蒸镀釜内的加热部设置传送蒸镀材料的传输带；所述蒸镀溶液供给部向所述的副釜内将蒸镀溶液连续不断地提供给所述传输带上，所述的加热部对所述的蒸镀材料加热汽化后的蒸汽从所述的蒸汽出汽口喷射在所述的基板上沉积，形成所述蒸镀材料的膜。本实用新型专利技术的成膜装置的特点是连续地使用液态的蒸镀材料进行蒸发镀膜，并能有效地防止所形成膜的膜质劣化。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种成膜装置，特别是一种连续式进行真空蒸镀的成膜装置。
技术介绍
真空蒸镀作为无机膜及有机膜的制作方法被广泛使用，通过真空蒸镀的方式在光学零部件等的表面形成具有防污性能的有机膜的方法而被认知。例如通过构成真空蒸镀装置的釜中安装的加热器使制作有机膜的蒸镀材料加热汽化、向成膜对象的表面喷出蒸镀材料的蒸汽并沉积，从而形成有机膜。作为形成有机膜的蒸镀装置有很多种类。例如，专利文献I中记载的一种成膜装 置，使用固体或粉末状的有机膜形成用蒸镀材料，通过真空蒸镀法形成有机膜。另外，在专利文献2的图4以及对应说明书的记载公开了一种成膜装置，把含有液体状防污剂的多孔片材或是液体状的防污剂等物直接用容器加热蒸发进行蒸镀。专利文献3公开了将带有全氟烷基的硅烷化合物等有机硅烷化合物浸于多孔性无机氧化物中的蒸镀材料，在高真空度下进行真空蒸镀获得防水性膜的方法。为了防止蒸镀材料劣化和保证其均匀性，需要将上述真空蒸镀中使用的有机膜形成用蒸镀材料在溶剂中溶解成溶液状态后使用。但是，例如以连续式进行真空蒸镀的成膜装置中，使用液态的有机膜形成用蒸镀材料进行蒸镀时，在蒸镀材料中容易混入溶剂，形成的有机膜在耐久本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，其特征在于，具有：蒸镀釜及设置在蒸镀釜内的加热部，在所述的蒸镀釜内与所述的加热部的蒸汽出汽口相对的是基板，及夹持和移动所述的基板的基板夹具；用档板与所述蒸镀釜分隔的副釜；蒸镀溶液供给部，该蒸镀溶液供给部的供给管直通所述的副釜内；贯通所述挡板从所述副釜至所述蒸镀釜内的加热部设置传送蒸镀材料的传输带；所述蒸镀溶液供给部通过供给管向所述的副釜内将蒸镀材料溶解在溶剂中的蒸镀溶液连续不断地提供给所述传输带上，该蒸镀溶液在所述传输带的传送过程中，所述蒸镀溶液的溶剂在副釜中挥发而分离，仅蒸镀材料留在传输带上进入所述的加热部，该加热部对所述的蒸镀材料加热汽化后的蒸汽从所述的蒸汽出汽口喷射在所述的...

【技术特征摘要】
2011.08.11 JP 2011-1761161.一种成膜装置，其特征在于，具有 蒸镀釜及设置在蒸镀釜内的加热部，在所述的蒸镀釜内与所述的加热部的蒸汽出汽口相对的是基板，及夹持和移动所述的基板的基板夹具； 用档板与所述蒸镀釜分隔的副釜； 蒸镀溶液供给部，该蒸镀溶液供给部的供给管直通所述的副釜内； 贯通所述挡板从所述副釜至所述蒸镀釜内的加热部设置传送蒸镀材料的传输带； 所述蒸镀溶液供给部通过供给管向所述的副釜内将蒸镀材料溶解在溶剂中的蒸镀溶液连续不断地提供给所述传输带上，该蒸镀溶液在所述传输带的传送过程中，所述蒸镀溶液的溶剂在副釜中挥发而分离，仅蒸镀材料留在传输带上进入所述的加热部，该加热部对所述的蒸镀材料加热汽化后的蒸汽从所述的蒸汽出汽口喷射在所述的基板上沉积，形成所述蒸镀材料的膜。2.根据权利要求I所述的成膜装置，其特征在于，所述的蒸镀釜具有抽真空的真空泵，所述的副釜具有抽真空的真空泵。3.根据权利要求I所述的成膜装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：岡田浩和，岛田修一，雀堂健洋，范宾，小林贵行，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：