【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机器人手以及机器人。
技术介绍
以往,下述机器人已被公知所述机器人具有机器人手,所述机器人手具备多个叉,将玻璃基板等基板载置于所述叉上,进行基板的搬送和相对于货架状的盒的取出和送入。由于大型液晶面板显示器的普及,因而所述机器人有很多处理大型基板的机会。对于所述大型基板,大多采用机器人手,所述机器人手具备纤维强化塑料制的叉,所述纤维强化塑料制的叉轻量且具有与基板重量对应的预定的刚性(例如参照专利文献I)。专利文献I :日本特开平11-176904号公报但是,上述的纤维强化塑料是在耐热性方面存在问题的材料。因此,一般来说,现有的机器人手在烧结炉中烧结而成的玻璃基板的搬送作业中,存在着受到烧结炉的辐射热等而容易劣化的问题。
技术实现思路
实施方式的第一方式就是鉴于上文而完成的,其目的在于提供能够防止高温环境下的劣化的机器人手和机器人。实施方式的第一方式涉及的机器人手具备叉,所述叉由纤维强化塑料形成。叉具有通过在外周面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。实施方式的第二方式所述的机器人手为,在第一方式所述的机器人手的基础上,其特征在于,所述叉以呈螺旋状的方式卷绕有聚酰亚胺膜,所 ...
【技术保护点】
一种机器人手,其特征在于,所述机器人手具备叉,所述叉由纤维强化塑料形成,并且所述叉具有通过在外周面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。
【技术特征摘要】
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