膜厚不均检查装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术是一种膜厚不均检查装置及方法，可获取明亮度及对比度适合检查的图像，而获得准确检查结果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动，一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均，且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部，光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部，摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构，反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构，透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构，且该装置包括控制部，其基于来自膜厚检测部的膜厚信息，控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构，调节反射照明及透射照明的光量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用以在彩色滤光片的制造步骤等之中，检查形成在玻璃或透光性树脂材料等的衬底上的彩色皮膜的厚 度不均(所谓的膜厚不均)的装置及方法。
技术介绍
以往已知有如下情况在用于平板显示器的彩色滤光片的制造步骤等之中，由于颜料分散不均一、或因成分凝聚、成膜时振动的影响而产生的膜厚不均，导致色彩不均。为防止发生在产生所述膜厚不均的状态下继续制造作业的不良情况，而使用相机与透射照明，检查有无色彩不均及程度等(例如，专利文献I)。进而，记载有如下技术使用相机与反射照明，即便形成在衬底表面的层发生各种变化，也能与之对应地清晰地拍摄所产生的不均(例如，专利文献2)。专利文献I :日本专利特开2006-234470号公报专利文献2 :日本专利特开2007-309718号公报
技术实现思路
各种色彩不均是因红色、蓝色、绿色等成膜中任一成膜的一部分包含膜厚不均一的部分(即，膜厚不均)而产生。所述各色成膜的膜厚不均检查是将作为检查对象的衬底与摄像部的角度变更，并根据该角度及检查对象，变更照明的种类、角度或位置而进行，但在膜厚不均难以检测时，若皮膜整体的膜厚(即，不存在膜厚不均的部分的膜厚，所谓的代表膜厚)不同，则有时无法充分获得膜厚不均的对比度。因此，在多次检查经成膜的皮膜的代表膜厚不同的衬底时，即便在相同摄像条件下检查各个衬底，有时也难以获得准确的检查结果。因此，本专利技术的目的在于提供一种对于代表膜厚不同的同一品种的衬底，可基于共通的检查条件，根据代表膜厚的差异，获取明亮度及对比度适合检查的图像，从而获得准确检查结果的。为解决所述问题，技术方案I的专利技术是一种膜厚不均检查装置，其特征在于包括衬底移动部，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；光源部，对所述衬底照射光；摄像部，对所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分进行摄像；及检查部，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，该膜厚不均检查装置包含检查条件登记部，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及代表膜厚检测部，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；所述光源部具备反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置，且对所述衬底照射光；在所述摄像部中，包含调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像角度调整部， 在所述反射照明部中，包含调节所述反射照明部和所述衬底的相对角度的反射照明角度调整部，在所述透射照明部中，包含调节所述透射照明部和所述衬底的相对角度的透射照明角度调整部，该膜厚不均检查装置包括控制部，该控制部可基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、与来自所述代表膜厚检测部的代表膜厚信息，控制所述摄像部角度调整部、所述反射照明角度调节部、及所述透射照明角度调整部，调节所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。技术方案5的专利技术是一种膜厚不均检查方法，其特征在于包括衬底移动步骤，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；摄像步骤，自光源部对所述衬底照射光，拍摄所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分；及检查步骤，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，且该膜厚不均检查方法包括检查条件登记步骤，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及代表膜厚检测步骤，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；所述光源部构成为包括反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置，且对所述衬底照射光；所述摄像步骤是基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、和所述代表膜厚检测步骤中检测出的代表膜厚信息，包括调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像部角度调整步骤、调节所述反射照明部和所述衬底的相对角度的反射照明角度调整步骤、调节所述透射照明部和所述衬底的相对角度的透射照明角度调整步骤、及调节所述反射照明或所述透射照明的光量的光量调节步骤。由于使用所述，所以，可对成为膜厚不均对象的皮膜厚度进行测定，设定适合该膜厚的观察角度、照明的位置及角度、及照明的光量，自动地进行膜厚不均检查。技术方案2的专利技术是根据技术方案I的膜厚不均检查装置，其特征在于包含对同一所述衬底的重复检查次数进行计数的计数部，且具备根据所述计数次数，变更所述摄像部的角度或所述照明的光量的功能。技术方案6的专利技术是根据技术方案5的膜厚不均检查方法，其特征在于包括计数步骤，对同一所述衬底的重复检查次数进行计数；重复检查步骤，对同一所述衬底检查至少两次以上；及根据所述计数次数，变更所述摄像部的角度或所述照明的光量的步骤。 若使用所述，则可在第I次检查与第2次以后的检查中，变更观察角度、照明的位置或角度、或者照明的光量，进行检查。如此一来，即便是难以第I次便获取合适的明亮度及对比度的图像的品种，也可以在第2次以后的检查中，获取合适的明亮度及对比度的图像。因此，即便膜厚不均难以检测的品种，也可以仔细地进行膜厚不均的检查。技术方案3的专利技术是根据技术方案2的膜厚不均检查装置，其特征在于所述检查部包含对经所述重复检查的各个图像进行多重合成处理的图像处理部，且具备基于将经所述合成处理的图像进行多重合成所得的多重合成图像，检查膜厚不均的多重合成图像检查功能。技术方案7的专利技术是根据技术方案6的膜厚不均检查方法，其特征在于更包括图像获取步骤，在所述重复检查步骤中，获取各个图像；多重合成处理步骤，对所述获取的各个图像进行多重合成处理；及多重合成图像检查步骤，基于经所述多重合成处理的图像，检查膜厚不均。若使用所述，则将对第I次检查与第2次以后的检查中获得的图像进行多重合成处理，因此，可进行与对某一观察条件下获得的图像进行检查相比噪声成分较少的检查。因此，相较基于仅在I个摄像条件下获得的整面图像进行检查，即便对于仅可获得微妙的对比度图像的膜厚不均，也可进行准确的检查。技术方案4的专利技术是根据技术方案I至3中任一技术方案的膜厚不均检查装置，其特征在于使所述摄像部和所述透射照明连结，且所述摄像部角度调整部兼作所述透射照明角度调整部。若使用所述膜厚不均检查装置，则可使所述摄像部和所述透射照明一体地旋转，因此，可节省单独地调节所述透射照明的角度的机构。因此，可减少位置调整机构的数量，实现装置成本降低。即便作为检查对象的皮膜厚度产生变化，也可以与此对应地获取合适的明亮度及对比度的图像，从而准确地获得膜厚不均的检查结果。附图说明图IA是表示实现本专利技术的一例实施方式的平面图。图IB是表示实现本专利技术的一例实施方式的侧视图。图2是表不实现本专利技术的一例实施方式的系统构成图。图3A是应用本专利技术的皮膜的每一厚度的照明角度与不均强度的关联图。图3B是应用本专利技术的皮膜厚度与照明角度的关联图。图4是表示实现本专利技术的一例实施方式的流程图。图5A是表示实现本专利技术的实施方式第2例的平面图。图5B是表示实现本专利技术的实施方式第2例的侧视图。I 膜厚不均检查装置 2 衬底移动部2a 上游侧移动部2b 下游侧移动部3 光源部3a 反射照明部3b 透射照明部4 摄像部9 控制部10 衬底IOv 表示移动方向的箭线11 装置机架12 输送架本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种膜厚不均检查装置，其特征在于包括：衬底移动部，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；光源部，对所述衬底照射光；摄像部，对所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分进行摄像；及检查部，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，该膜厚不均检查装置包含：检查条件登记部，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及代表膜厚检测部，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；所述光源部具备：反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置上，且对所述衬底照射光；在所述摄像部中，包含调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像角度调整部，在所述反射照明部中，包含调节所述反射照明部和所述衬底的相对角度的反射照明角度调整部，在所述透射照明部中，包含调节所述透射照明部和所述衬底的相对角度的透射照明角度调整部，该膜厚不均检查装置包括控制部，该控制部可基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、与来自所述代表膜厚检测部的代表膜厚信息，控制所述摄像部角度调整部、所述反射照明角度调整部、及所述透射照明角度调整部，调节所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：和田浩光，田嶋久容，小山恭史，滨川直良，水原正志，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：