【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用以在彩色滤光片的制造步骤等之中，检查形成在玻璃或透光性树脂材料等的衬底上的彩色皮膜的厚 度不均(所谓的膜厚不均)的装置及方法。
技术介绍
以往已知有如下情况在用于平板显示器的彩色滤光片的制造步骤等之中，由于颜料分散不均一、或因成分凝聚、成膜时振动的影响而产生的膜厚不均，导致色彩不均。为防止发生在产生所述膜厚不均的状态下继续制造作业的不良情况，而使用相机与透射照明，检查有无色彩不均及程度等(例如，专利文献I)。进而，记载有如下技术使用相机与反射照明，即便形成在衬底表面的层发生各种变化，也能与之对应地清晰地拍摄所产生的不均(例如，专利文献2)。专利文献I :日本专利特开2006-234470号公报专利文献2 :日本专利特开2007-309718号公报
技术实现思路
各种色彩不均是因红色、蓝色、绿色等成膜中任一成膜的一部分包含膜厚不均一的部分(即，膜厚不均)而产生。所述各色成膜的膜厚不均检查是将作为检查对象的衬底与摄像部的角度变更，并根据该角度及检查对象，变更照明的种类、角度或位置而进行，但在膜厚不均难以检测时，若皮膜整体的膜厚(即，不存在膜厚不均的部...
【技术保护点】
一种膜厚不均检查装置，其特征在于包括：衬底移动部，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；光源部，对所述衬底照射光；摄像部，对所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分进行摄像；及检查部，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，该膜厚不均检查装置包含：检查条件登记部，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及代表膜厚检测部，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；所述光源部具备：反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置上，且对所述衬底...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：和田浩光，田嶋久容，小山恭史，滨川直良，水原正志，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：
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