【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用纤维传送从振荡器输出的激光，并形成线状光束的纤维传送激光光学系统，适用于薄膜硅的退火处理。
技术介绍
作为利用激光的结晶化、表面改良技术，已知有激光退火技术。在激光退火装置中，作为从激光振荡器射出的激光，大多使用矩形或线状的准分子激光。在专利文献1、2中提出了使用准分子激光的退火装置。在这些装置中，使用了正交配置多个柱面透镜阵列的光学系统，利用该光学系统，把从激光振荡器射出的激光形成为如下的激光，即在截面的·一个方向上具有均勻强度分布，另一方面，在与此正交的方向上具有极高的会聚特性、可称为细线状分布的激光。这样，在把从激光振荡器射出的激光形成为线状分布的光学系统中，由于激光振荡器的射出位置与线状分布激光的形成位置的相对位置关系确定，所以进行退火处理、曝光处理的装置的布局、装置面积、装置体积的自由度受到限制。因此，近年来，出现了在激光射出端安装光纤，并用纤维传送激光的纤维传送激光光学系统。纤维传送激光光学系统通过使用光纤，能增加从激光振荡器射出的激光的传送自由度，所以上述的装置布局问题逐渐被消除。在先技术文献专利文献专利文献I :日本特开平10-2...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：矢幡祯也，相田善明，富樫陵太郎，佐藤亮介，井波俊夫，草间秀晃，
申请(专利权)人：昭和光电株式会社，株式会社日本制钢所，
类型：
国别省市：
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