TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置制造方法及图纸

技术编号:15110654 阅读:219 留言:0更新日期:2017-04-09 01:37
本发明专利技术提供一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置,该传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机下方,以使自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测,传送装置包括位于自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。本发明专利技术提供的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置由于仅在自动光学检查机可检查区域正下方设有气浮传输带,可保证TFT-LCD显示面板的平整度,同时由于上游和/或下游设置有自由辊传输带可以节约成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶面板制造
,特别涉及一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的玻璃基板经过复杂的工艺流程制造,基板上线路容易形成断路和短路现象,检测出基板上线路的断路和短路并进行维修可提高产品的良率,加快设备的检测速度和减少设备的硬件结构都可以达到提高检测效率和节约成本的目的。具体地,光阻材料涂布于基板经过曝光、显影以后,会进入自动光学检查机(AutomatedOpticalInspection,AOI)进行微观缺陷的检查。AOI主要针对曝光和显影中产生的不良进行实时的监控,其检查效果对量产产品的品质保证有着决定性的作用。在AOI的检查过程中,TFT-LCD显示面板表面平整度对检查的效果有着极大的影响。整个检查过程TFT-LCD显示面板是处于扫描方向运动的状态,如果TFT-LCD显示面板表面平整度起伏较大,会影响相机的辉度采集结果,自然地影响到检查最终结果。针对TFT-LCD显示面板在检查中的搬运,现在业界内主要采用3种方式:1、辊柱(Conveyor)方式其优点是结构简单,费用花费较少。但是传送过程中基板表面平整度起伏较大。2、自由辊(FreeRoller)方式采用载台(Stage)进行搬送,自由辊作为支撑和传送辅助。此种方式可保证基板表面平整度,而且费用花费也较低。3、气浮(AirFloating)方式为了获得更高精度的检查,采用气浮的方式进行搬送。此种方式的优点是搬送时,基板表面平整度很高。但是由于长距离、大面积的气浮使用,对气浮平衡性的控制要求很高,气浮的过程是下表面吹气和上表面吸气平衡的结果,在两个气浮带(bar)中间基板会发生弯曲,有可能接触到气浮带的边缘孔洞而将基板吸附,进而拖拽基板发生破片,并且气浮的费用花费较高。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置,以解决现有技术中采用辊柱或自由辊方式基板表面平整度不够,以及长距离采用气浮方式花费较高且容易拖拽基板发生破片的问题。为解决上述技术问题,本专利技术采用的一个技术方案是:提供一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置,所述传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机下方,以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测,所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。根据本专利技术一优选实施例,所述气浮传输带包括主气囊及阵列设于所述主气囊表面的多个气嘴。根据本专利技术一优选实施例,所述传送装置还包括基槽,所述基槽包括底板和设于所述底板两侧边的挡板,所述气浮传输带及所述自由辊传输带设于所述基槽内并低于所述挡板的高度。根据本专利技术一优选实施例,所述自由辊传输带包括多个平行设置的转轴,每一所述转轴上设有多个滚轮或滚柱。根据本专利技术一优选实施例,所述滚轮或滚柱表面为弹性材料。为解决上述技术问题,本专利技术采用的另一个技术方案是:提供一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置,所述光学检查装置包括自动光学检查机及传送装置,所述传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机下方,以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测,所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。本专利技术的有益效果是:区别于现有技术的情况,本专利技术提供的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置及其传送装置由于仅在自动光学检查机可检查区域正下方设有气浮传输带,可保证TFT-LCD显示面板的平整度,同时由于上游和/或下游设置有自由辊传输带可以节约成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图,其中:图1是本专利技术优选实施例的TFT-LCD显示面板制造的简化流程图;图2是图1中所示的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置的简化结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1,图1是本专利技术优选实施例的TFT-LCD显示面板制造的简化流程图。如图1所示,在TFT-LCD显示面板制造的过程中,需要以下几道主要工序:首先,通过洗净装置对玻璃基板进行洗净;其次,通过涂布装置对玻璃基板进行涂布;然后,通过真空干燥装置对玻璃基板进行干燥;然后,通过预烘烤装置对玻璃基板进行预烘烤;然后,通过曝光装置对玻璃基板进行曝光;然后,通过显影装置对玻璃基板进行显影;然后,通过检查装置(自动光学检查机)对玻璃基板进行检查;然后,通过烘烤装置对玻璃基板进烘烤;然后,再进入后续工程。请参阅图2,图2是图1中所示的TFT-LCD显示面板制造中的光学检查装置的简化结构示意图。如图2所示,本专利技术提供一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置,该传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机20下方,以使自动光学检查机20对曝光和显影中产生的不良进行实时检测,传送装置包括位于自动光学检查机20可检查区域21(图中虚线框)正下方的气浮传输带100及于气浮传输带100上游和/或下游设置的自由辊传输带200。采用气浮方式搬送时,基板的平整度可以达到全区域±75微米,而采用自由辊方式搬送时,基板的平整度可以达到全区域±100微米。其中,气浮传输带100包括上气浮和下气浮,在优选实施例中,上气浮的面积小于下气浮的面积,上气浮大致位于下气浮的中间区域上方,气浮以下气浮的吹气为主,以上气浮的吸气为辅,以避免上气浮容易将基板吸附产生破片风险,下气浮的面积大于一块基板的面积,通常可以是大于一块基板的面积的1.3倍以上。具体地,下气浮包括下主气囊110及阵列本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种用于TFT‑LCD显示面板制造中的传送装置,其特征在于,所述传送装置用于承载并传输TFT‑LCD显示面板经过自动光学检查机下方,以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检测,所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。

【技术特征摘要】
1.一种用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装置,其特征在于,
所述传送装置用于承载并传输TFT-LCD显示面板经过自动光学检查机
下方,以使所述自动光学检查机对曝光和显影中产生的不良进行实时检
测,所述传送装置包括位于所述自动光学检查机可检查区域正下方的气
浮传输带及于所述气浮传输带上游和/或下游设置的自由辊传输带。
2.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装
置,其特征在于,所述气浮传输带包括主气囊及阵列设于所述主气囊表
面的多个气嘴。
3.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装
置,其特征在于,所述传送装置还包括基槽,所述基槽包括底板和设于
所述底板两侧边的挡板,所述气浮传输带及所述自由辊传输带设于所述
基槽内并低于所述挡板的高度。
4.根据权利要求1所述的用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装
置,其特征在于,所述自由辊传输带包括多个平行设置的转轴,每一所
述转轴上设有多个滚轮或滚柱。
5.根据权利要求4所述的用于TFT-LCD显示面板制造中的传送装
置,其特征在于,所述滚轮或滚柱表面为弹性材料。
6.一种TFT-LCD显示面板制造中的光学检...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘浩
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:湖北;42

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