纤维光学系统及其使用技术方案

一种用于压力测量的纤维光学系统具有压力传感器元件（4），其具有至少两个平行的部分反射表面（5、7），其中的一个被布置在隔膜（6）上，可由于跨越所述隔膜的压力差而相对于另一固定的所述表面移动。所述表面被布置以便根据这些表面之间的实际10距离而引起基本地垂直地入射到两个表面上且被其反射的光的干涉现象。压力传感器元件由在高达至少800℃的连续温度上稳定的材料制成。传感器元件的至少所述隔膜（6）由SiC制成，并且连接到所述传感器元件的光纤（3）的至少一部分（23）由能够耐受至少800℃的连续温度的材料制成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般地涉及用于压力测量的纤维光学系统。然而，虽然本专利技术针对具有执行压力测量的能力的纤维光学系统，但可以将这类系统配置为用来测量其它物理量，诸如温度。此外，包括用于测量静态和/或动态压力的纤维光学系统。
技术介绍
纤维光学系统与基于电子传感器的系统相比具有多个优点，因为通过光纤进行的信号传输对电磁噪声不敏感，使得这类纤维光学系统用于压力测量的优选用途是在可能发生严重电磁干扰的情况下。此外，这类系统的光学压力传感器元件可以具有比相应电子传感器更高的温度能力。本专利技术更特别地涉及用于压力测量的纤维光学系统，其包括· 压力传感器元件，其具有至少两个平行部分反射表面，其中的一个被布置在隔膜上，可由于跨越所述隔膜的压力差而相对于另一固定的所述表面移动，所述表面被布置以便根据这些表面之间的实际距离引起基本上垂直地入射到两个表面上且被其反射的光的干涉现象，· 光源，其被配置为发射光，· 光纤，其被配置为接收和传送在一个方向中从所述光源到所述压力传感器元件的光和在相反方向中采取被所述表面反射的光的形式的测量信号，以及· 设备(arrangement)，其被配置为接收所述测量信号并评估此信号，以便确定所述隔膜处的压力值，以及这类系统的用途。通过例如SE 510 449和US 2002/0003917 A1已知这类型的纤维光学系统，并且其因此基于研究入射在所谓法布里-珀罗腔体的所述两个表面上的光的干涉现象以便确定压力值。这些干涉现象则将是把所述两个表面分离的距离的函数且因此是所述表面在隔膜上相对于另一固定表面的移动的函数。这类已知纤维光学系统能够在许多情况下传送可靠的压力测量，但是正在进行改善这类系统以便使得测量更可靠并扩展这类纤维光学系统的使用领域的尝试。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种相对于已知的这类系统而言至少在某些方面得到改善的纤维光学系统。根据本专利技术，通过提供这样一种系统来获得此目的，在该系统中，所述压力传感器元件由在高达至少800℃的连续温度上稳定的材料制成，所述传感器的至少所述隔膜由SiC制成，并且连接到所述传感器元件的所述光纤的至少一部分由能够耐受至少800℃的连续温度的材料制成。具有此类压力传感器元件的纤维光纤系统可以用来在严酷环境下传送可靠的压力测量，特别是在温度高的情况下，诸如在燃料燃烧过程中，例如在内燃机中和燃气涡轮机中。SiC在比800℃更高的温度上（诸如至少约1500℃）是稳定的，使得压力传感器元件的所述两个表面之间的实际距离可以基本上与在1000℃～1500℃的温度范围内隔膜的温度无关，其中，对于Si的隔膜而言情况将不是如此。然后，优选的是压力传感器元件由在高达至少1000℃的连续温度上稳定的材料制成，并且直接连接到所述传感器元件的光纤的所述部分是能够耐受至少1000℃的连续温度的材料。使传感器的隔膜由SiC制成的另一优点是SiC的杨氏模量比Si的高了约三倍，这使得可以将此类型的纤维光学系统用于测量随高频率而变的动态压力并登记用具有Si隔膜的传感器不可能登记的压力变化。根据本专利技术的实施例，基本上整个压力传感器元件是由SiC制成的。这是优选的，因为这类压力传感器元件的高温性质于是将是优良的，并且于是还将改善获得高频率压力变化的高准确度测量的能力。应指出的是“由SiC制成”在本上下文中被解释为还覆盖具有施加在由SiC制成的隔膜/压力传感器元件上的任何类型的另一材料薄膜的情况。此外，此类型的纤维光学系统中的压力传感器元件优选地是所谓的MEM器件（微机电器件）。根据本专利技术的另一实施例，传感器的所述固定表面由具有与所述隔膜共用的晶体结构的SiC单晶层形成。通过晶体结构从所述层到隔膜的转移，传感器将接收具有非常好地限定的性质的结构，这是此类型的传感器的重要优点。根据本专利技术的另一实施例，所述压力传感器元件包括具有紧挨着所述光纤的限定所述固定表面的顶面和远离所述光纤的由所述隔膜限定的底部的腔体。[0013] 根据本专利技术的另一实施例，所述腔体在其隔膜侧面上被覆盖通过隔膜的开口的层封闭。因此，通过隔膜的开口在产生所述固定表面与隔膜之间的间隙时可能在那里，因此，通过用在高达至少800℃的连续温度上稳定的所述材料层（优选地也是SiC）将此开口覆盖来将其封闭，以便封闭在隔膜侧上的腔体。根据本专利技术的另一实施例，所述腔体被封闭且所述设备被配置为确定在所述腔体外面的介质的静态或动态压力的值。该腔体必须被封闭以便确定在传感器外面的静态压力的值，但是在大多数情况下优选的是当在测量并然后由所述设备来确定所述介质的动态压力时，所述腔体具有到围绕所述压力传感器元件的介质的通道状开口。根据本专利技术的另一实施例，所述隔膜被设计为在相对于所述固定表面移动时在所述表面之外的区域中变形以被来自所述光纤的光命中，从而保持所述隔膜的反射表面的外观不受隔膜的此类移动的影响。这意味着获得确定所述压力值时的高准确度的可能性。根据本专利技术的另一实施例，所述光学系统包括荧光部件，其被布置于在压力传感器元件的所述反射表面的上游从所述光源传送的所述光的路径中，并被配置为吸收所述光的一部分以便在所述光纤中在相反的方向中重新发送由光学激励引起的辅助光以便被提供用于评估。这类荧光部件的存在使得可以通过在计算所述压力时适当地考虑光学路径中的光损失来对所述设备进行校准。还可以通过评估所述辅助光来检查光传送纤维的状态。所述荧光部件还可开发用于其它类型的评估，这将在下文中进一步描述。根据本专利技术的另一实施例，与所述压力传感器元件相连地布置所述荧光部件以便暴露于压力传感器元件周围介质的与压力传感器相同的温度，所述荧光部件由一种材料制成，该材料具有温度相关的荧光性质，采取所述辅助光的温度相关谱分布或是温度相关的最后提及的光的时间延迟常数的形式，并且所述系统还包括被配置为接收从所述荧光部件重新发送的所述光并由其确定压力传感器元件周围的介质的温度值的装置。这意味着纤维光学系统还可以用来测量压力传感器元件周围的介质的温度，并且然后还可以使用通过配置所述装置如此获得的温度信息以将这个信息发送到所述设备，并且然后将所述设备配置为在确定所述隔膜处的所述压力时考虑这类温度信息，使得可以甚至更加提高压力确定的准确度。根据本专利技术的另一实施例，所述荧光部件由用Ti掺杂的蓝宝石制成。当与压力传感器元件相连地布置荧光部件时，这是适合于用于荧光部件的材料，因为这类荧光部件然后将耐受至少1000℃的连续温度。根据本专利技术的另一实施例，所述荧光部件由掺杂SiC层制成。这构成获得具有用于产生所述辅助光的所述光学激励的适当能级的荧光部件的另一有利方式。此外，这类部件然后将具有优良的高温稳定性质。根据本专利技术的另一实施例，连接到所述传感器元件的所述光纤的所述部分由蓝宝石制成，其可以耐受所述高温。根据本专利技术的另一实施例，连接到所述传感器元件的所述光纤的所述部分具有1 cm～100 cm或1 cm～10 cm的长度。能够耐受所述连续温度所需的光纤长度将位于这些区间中的至少一个内，因为在系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.06.05 EP 09161993.21.一种用于压力测量的纤维光学系统，包括
· 压力传感器元件（4），其具有至少两个平行部分反射表面（5、7），其中的一个被布置在隔膜（6）上，可由于跨越所述隔膜的压力差而相对于另一固定的所述表面移动，所述表面被布置为以便根据这些表面之间的实际距离引起基本上垂直地入射到两个表面（5、7）上且被其反射的光的干涉现象，
· 光源（1），其被配置为发射光，
· 光纤（3），其被配置为接收和传送在一个方向中从所述光源到所述压力传感器元件的光和在相反方向中采取被所述表面反射的光的形式的测量信号，以及
· 设备（12），其被配置为接收所述测量信号并评估此信号，以便确定所述隔膜处的压力值，其特征在于所述压力传感器元件（4）由在高达至少800℃的连续温度上稳定的材料制成，所述传感器的至少所述隔膜（6）由SiC制成，并且连接到所述传感器元件的所述光纤（3）的至少一部分（23）由能够耐受至少800℃的连续温度的材料制成。
2.根据权利要求1所述的纤维光学系统，其特征在于实质上整个压力传感器元件（4）由SiC制成。
3.根据权利要求1或2所述的纤维光学系统，其特征在于所述压力传感器元件（4）包括具有紧挨着所述光纤的限定所述固定表面的顶面（17）和由所述隔膜（6）限定的远离所述光纤的底部（19）的腔体（18）。
4.根据权利要求3所述的纤维光学系统，其特征在于所述腔体（18）被封闭且所述设备（12）被配置为确定所述腔体外面的介质的静态或动态压力的值。
5.根据权利要求3所述的纤维光学系统，其特征在于所述腔体（18）具有到所述压力传感器元件（4）周围的介质的通道状开口（21），并且所述设备（12）被配置为确定所述介质的动态压力的值。
6.根据前述权利要求中的任一项所述的纤维光学系统，其特征在于所述隔膜（6）被设计为在相对于所述固定表面（7）移动时在所述表面（5）外面的区域（20）中变形以被来自所述光纤的光命中，从而保持所述隔膜的反射表面的外观不受隔膜的这类移动的影响。
7.根据前述权...

【专利技术属性】
技术研发人员：H约翰逊，
申请(专利权)人：H约翰逊，
类型：发明
国别省市：