测量夹具、线锯、工件附装方法技术

一种线锯，包括两个主滚轮、在两个滚轮之间跑动的钢丝（25）、工件支架（27）以及附装在工件支架（27）上已经从该工件支架上面取下来的测量夹具。工件支架（27）的位置可以绕着在竖直方向上延伸的轴线调节。工件夹具是用多个实现定位功能的钳夹固定器（30）附装在工件支架（27）上和从它上面取下来。测量夹具（42）可以附装在工件支架（27）上，代替工件夹具。检测钢丝（25）位置的相机（44）设置在测量夹具（42）上。工件支架（27）的位置是基于相机（44）检测到的钢丝（25）位置来调节的，钳夹固定器（30）是设置在一个相对于钢丝（25）的预定位置上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用钢丝切割半导体材料或者像陶瓷之类易碎材料的线锯，尤其是涉及一种测量钢丝位置的测量夹具、具有测量夹具的线锯以及使用测量夹具的工件附装方法。
技术介绍
线锯包括主滚轮和在两个主滚轮之间跑动的钢丝。钢丝是以预定的间距螺旋状缠绕在主滚轮上。钢丝沿着它的轴线跑动。此外，给钢丝供应具有研磨颗粒的浆料。当金刚石之类的研磨颗粒被保持在钢丝上时，不必供应浆料。基于工件的晶体取向之类，调节工件的位置，使得工件和钢丝的位置满足一个预定的关系。在这个状态下，迫使工件抵在钢丝上，被切成片。专利文献1揭示了一种具有工件取向调节装置的线锯，工件取向调节装置调节工件的晶体取向和钢丝跑动方向的位置关系。在该线锯中，工件支撑底座被支撑在一个框架上。所述工件支撑底座在一个水平平面中绕枢转轴线枢转。支撑工件的工件支撑主体设置在工件支撑底座的下表面上。框架包括一个调节构件，根据钢丝的跑动方向调节工件的晶体取向。在调节构件和工件支撑底座之间设置一个差动减速机构。该差动减速机构降低输送给工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.03.07 JP 2011-0490541.一种附装在线锯的工件支架上以及从该工件支架上取下来的测量夹具，
其中所述线锯包括两个主滚轮和在两个主滚轮之间跑动的钢丝，其中所述工件
支架的位置可以绕竖直方向上延伸的轴线来调节，所述测量夹具包括：
检测所述钢丝位置的检测装置，
其中所述测量夹具是利用多个实现定位功能的钳夹固定器附装在所述工
件支架上以及从该工件支架上取下来。
2.根据权利要求1的测量夹具，其中所述检测装置用光学检测所述钢丝的
位置。
3.根据权利要求1或2的测量夹具，其中所述检测装置能沿着所述钢丝的
轴线移动。
4.一种具有工件支架和工件夹具的线锯，其中所述工件支架的位置能够绕
着在竖直方向上延伸的轴线来调节，并且所述工件夹具附装在所述工件支架上
以及从该工件支架上取下来，所述线锯包括：
根据权利要求1至3任意一项权...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田晶宽，谷崎启，
申请(专利权)人：小松NTC株式会社，
类型：
国别省市：