The invention discloses a plane polishing machine a workpiece fixture and method for reciprocating linear motion, including frame mechanism, pressure mechanism and a grinding mechanism; pressure mechanism consists of a fixture height adjustment device, pneumatic clamping device and the clamp; the grinding mechanism comprises a slide rail, eccentricity regulator, rocker mechanism, active, active runner the wheel drive motor, grinding wheel, grinding wheel drive motor, a push rod, and a connecting rod slider; the plane polishing machine can be realized by eccentricity regulator to control the movement of grinding wheel distance; horizontal movement through the transmission system to control the workpiece fixture; by grinding head vertical height adjustment control device for lifting fixtures; will the polishing material pressure in the surface of the lapping plate so as to achieve the automatic polishing on the surface of different materials through the pneumatic clamping device, grinding The polishing effect is good and the processing quality is high.
【技术实现步骤摘要】
一种工件夹具往复直线运动的平面研磨抛光机及其方法
本专利技术属于研磨抛光领域,涉及一种研磨抛光装置,具体为一种工件夹具往复直线运动的平面研磨抛光机及其方法。
技术介绍
平面研磨加工技术是是指将平面工件进行超精密加工,降低工件表面粗糙度、去除损伤层,祛除工件表面的划痕,斑点,塌边现象,使工件表面光亮,平滑,成镜面效果甚至达到某一精确的粗糙度值,获得高形状精度、表面精度和表面完整性的终加工手段。以不改变工件材料物理特性为前提的超精密加工需要使工件的形状精度和表面粗糙度分别达到亚微米级、纳米级,甚至追求更高表面完整性的无损伤抛光技术。可以加工不锈钢,钨钢,铝材,合金等金属材质的产品,也可以加工光学玻璃,硅片,导光板,亚克力,蓝宝石衬底,蓝宝石外延片,塑胶等非金属材质的产品。它支持着最新科学技术的进步,促进了超精密加工新技术的迅速发展。平面抛光机有砝码加压抛光机,适用于实验室精密加工;还有摆臂式平面抛光机,该抛光机气缸倾斜加压,工件夹具有偏转力矩,高速研磨条件下,容易造成工件跑飞;目前应用最广泛的行星式平面抛光机,对硅片,陶瓷片,蓝宝石等材料进行加工,但该加工方法不适应加工大型工件。专利号201420289504.5的专利技术公开了一种平面研磨抛光机,在工作时,可以通过滚动机构来控制抛光工作台的左右向的水平移动;平面研磨抛光机的平面研磨抛光机构通过伸缩机构与横梁相连接,可以通过伸缩机构来控制平面研磨抛光机构的竖直方向升降;从而实现对不同面积金属材料的表面进行自动抛光。该平面研磨抛光机采用固定工件夹具,在抛光过程中,工件负载增大,稳定性差。本专利技术采用固定研磨盘, ...
【技术保护点】
一种工件夹具往复直线运动的平面研磨抛光机,其特征在于包括机座机构、加压机构和研磨机构;加压机构由夹具高度调节器(1)、气动压紧装置(2)和随行夹具(3)组成;研磨机构包括滑轨(4)、偏心距调节器(5)、摇杆机构(6)、主动转轮(7)、主动转轮驱动电机(8)、研磨盘(11)、研磨盘驱动电机(12)、推杆(16)、滑块(17)和连接杆(18);加压机构安装在机座结构的运动导轨(9)上,研磨机构固定在机座机构上,高度调节器(1)、气动压紧装置(2)固定在随行夹具(3)上,主动转轮驱动电机(8)驱动主动转轮(7)作回转运动,主动转轮(7)上有一个偏心距调节器(5),偏心距调节器(5)通过锥形螺栓实现自锁,滑块(17)与偏心距调节器(5)铰链连接,摇杆机构(6)在滑块(17)内来回运动,摇杆机构(6)的一端与连接杆(18)铰链连接,另外一端与推杆(16)铰链连接,推杆(16)在滑轨(4)内来回直线运动;摇杆机构(6)将主传动轮圆周运动改变为推杆(16)的往复直线运动,推杆(16)与随行夹具(3)固定,从而实现待抛光工件在研磨盘的往复直线运动。
【技术特征摘要】
1.一种工件夹具往复直线运动的平面研磨抛光机,其特征在于包括机座机构、加压机构和研磨机构;加压机构由夹具高度调节器(1)、气动压紧装置(2)和随行夹具(3)组成;研磨机构包括滑轨(4)、偏心距调节器(5)、摇杆机构(6)、主动转轮(7)、主动转轮驱动电机(8)、研磨盘(11)、研磨盘驱动电机(12)、推杆(16)、滑块(17)和连接杆(18);加压机构安装在机座结构的运动导轨(9)上,研磨机构固定在机座机构上,高度调节器(1)、气动压紧装置(2)固定在随行夹具(3)上,主动转轮驱动电机(8)驱动主动转轮(7)作回转运动,主动转轮(7)上有一个偏心距调节器(5),偏心距调节器(5)通过锥形螺栓实现自锁,滑块(17)与偏心距调节器(5)铰链连接,摇杆机构(6)在滑块(17)内来回运动,摇杆机构(6)的一端与连接杆(18)铰链连接,另外一端与推杆(16)铰链连接,推杆(16)在滑轨(4)内来回直线运动;摇杆机构(6)将主传动轮圆周运动改变为推杆(16)的往复直线运动,推杆(16)与随行夹具(3)固定,从而实现待抛光工件在研磨盘的往复直线运动。2.根据权利要求1所述的工件夹具往复直线运动的平面研磨抛光机,其特征在于所述的机座机构包括机座(14)、机架(13)、框体结构(10)和抛光运动导轨(9),机架(13)安装在机座(14)上,框体结构(10)安...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯凯萍,李帅,周兆忠,倪成员,郁炜,尹涛,许庆华,
申请(专利权)人:衢州学院,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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