一种自动检测扎针的设备制造技术

本实用新型专利技术的一种自动检测扎针的设备，包括支架、扎针装置、第一待测元件，第二待测元件、电阻，量测仪器和统计装置，所述第一待测元件通过所述电阻与所述第二待测元件连接，第一待测元件和第二待测元件设于所述支架上，所述扎针装置设于所述支架一端的一侧，所述量测仪器设于所述支架另一端的一侧，所述量测仪器与所述统计装置连接。本实用新型专利技术利用程式测试特制的测试模组结构，通过对测试结果的判断，来自动识别扎针的接触是否良好。节省了人工判断所耗费的时间，减小了人工判断的风险，增加了生产效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于微电子制造与半导体测试领域，涉及一种检测设备，尤其涉及一种自动检测扎针的设备。
技术介绍
当今的晶圆片制造工艺中，需要对晶圆片的电性参数进行测试，在测试之前，为了保证测试的准确性，需要通过试扎针的步骤，这是用探针卡试扎测试模组后，人工肉眼判断扎针的位置是否正确以及扎针点的针痕是否接触良好(肉眼判断标准针痕是否在Pad内或者针痕大小接近)，以保证正式测试的正确性，这样人工作判断会有判断错误的风险以及增加人工作业时间。因此本领域的技术人员致力于开发一种自动检测扎针的设备。·
技术实现思路
鉴于上述现有技术中的问题，本技术所要解决的技术问题是现有的技术缺乏自动化检测扎针的设备。本技术的一种自动检测扎针的设备，包括支架、扎针装置、第一待测元件，第二待测元件、电阻，量测仪器和统计装置，所述第一待测元件通过所述电阻与所述第二待测元件连接，第一待测元件和第二待测元件设于所述支架上，所述扎针装置设于所述支架一端的一侧，所述量测仪器设于所述支架另一端的一侧，所述量测仪器与所述统计装置连接。在本技术的一个较佳实施方式中，所述待测元件为晶圆片。在本技术的另一较佳实施方式中，所述量测仪器为电阻仪。在本技术的另一较佳实施方式中，所述统计装置为可编程逻辑控制器。在本技术的另一较佳实施方式中，所述可编程逻辑控制器与所述扎针装置相连。在本技术的另一较佳实施方式中，所述可编程逻辑控制器包括处理器和显示>J-U装直。在本技术的另一较佳实施方式中，所述支架与所述可编程逻辑控制器连接。本专利技术利用程式测试特制的测试模组结构，通过对测试结果的判断，来自动识别扎针的接触是否良好。节省了人工判断所耗费的时间，减小了人工判断的风险，增加了生产效率。附图说明图I是本技术的实施例的结构示意图；图2是本技术的实施流程示意图。具体实施方式以下将结合附图和实施例对本技术做具体阐释。如图I所示的本技术的实施例的一种自动检测扎针的设备，包括支架I、扎针装置2、第一待测元件3，第二待测元件4、电阻5，量测仪器6和统计装置7。第一待测元件3通过电阻5与第二待测元件4连接，第一待测元件3和第二待测元件4设于所述支架I上，所述扎针装置2设于所述支架I 一端的一侧，所述量测仪器6设于所述支架I另一端的一侧，所述量测仪器6与所述统计装置7连接。本专利技术通过将两个待测元件间连接电阻组成测试模组结构，利用自动化测试特制的测试模组结构，通过对测试结果的判断，来自动识别扎针的接触是否良好。节省了人工判断所耗费的时间，减小了人工判断的风险，增加了生产效率。在本技术的实施例中，待测元件为晶圆片。量测仪器为电阻仪。统计装置为可编程逻辑控制器。可编程逻辑控制器与所述扎针装置、支架相连。可编程逻辑控制器包括处理器和显示装置。如图2中所示的测试流程，通过判断测试扎针后的两个待测元件间的电阻与原先的电阻的数值是否吻合，或接近，如原数值的9(T1100%，判断扎针程序是否运·行良好。及如吻合，程序运行良好；如不吻合运行有误，机器自动停止测试并报警。以上对本技术的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本技术并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本技术的范畴之中。因此，在不脱离本技术的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本技术的范围内。权利要求1.ー种自动检测扎针的设备，其特征在于，包括支架、扎针装置、第一待测元件，第二待测元件、电阻，量测仪器和统计装置，所述第一待测元件通过所述电阻与所述第二待测元件连接，第一待测元件和第二待测元件设于所述支架上，所述扎针装置设于所述支架一端的ー侧，所述量测仪器设于所述支架另一端的ー侧，所述量测仪器与所述统计装置连接。2.如权利要求I所述的自动检测扎针的设备，其特征在于，所述待测元件为晶圆片。3.如权利要求I所述的自动检测扎针的设备，其特征在于，所述量测仪器为电阻仪。4.如权利要求I所述的自动检测扎针的设备，其特征在于，所述统计装置为可编程逻辑控制器。5.如权利要求4所述的自动检测扎针的设备，其特征在干，所述可编程逻辑控制器与所述扎针装置相连。6.如权利要求4所述的自动检测扎针的设备，其特征在于，所述可编程逻辑控制器包括处理器和显示装置。7.如权利要求4所述的自动检测扎针的设备，其特征在于，所述支架与所述可编程逻辑控制器连接。专利摘要本技术的一种自动检测扎针的设备，包括支架、扎针装置、第一待测元件，第二待测元件、电阻，量测仪器和统计装置，所述第一待测元件通过所述电阻与所述第二待测元件连接，第一待测元件和第二待测元件设于所述支架上，所述扎针装置设于所述支架一端的一侧，所述量测仪器设于所述支架另一端的一侧，所述量测仪器与所述统计装置连接。本技术利用程式测试特制的测试模组结构，通过对测试结果的判断，来自动识别扎针的接触是否良好。节省了人工判断所耗费的时间，减小了人工判断的风险，增加了生产效率。文档编号G01R31/02GK202758028SQ20122031656公开日2013年2月27日 申请日期2012年7月3日 优先权日2012年7月3日专利技术者王靓, 莫保章, 娄晓祺 申请人:上海华力微电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动检测扎针的设备，其特征在于，包括支架、扎针装置、第一待测元件，第二待测元件、电阻，量测仪器和统计装置，所述第一待测元件通过所述电阻与所述第二待测元件连接，第一待测元件和第二待测元件设于所述支架上，所述扎针装置设于所述支架一端的一侧，所述量测仪器设于所述支架另一端的一侧，所述量测仪器与所述统计装置连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王靓，莫保章，娄晓祺，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：