【技术实现步骤摘要】
量产同测方法
本专利技术涉及测试领域,更具体地说,本专利技术涉及一种高效的量产同测方法。
技术介绍
在电路设计与制造过程中,需要对晶圆、裸片或者电路进行大量测试。在大批量生产电路的情况下,需要进行量产测试。具体地说,例如在电路测试时会遇到要测试带负载下的模拟输出电压信号(例如稳压管的输出)或者需要进行开短路测试(OPEN/SHORT测试,O/S测试)的情况。其中,开短路测试就是测试开路与短路,具体点说就是测试一个电子器件应该连接的地方是否连接,如果没有连接上就是开路,如果不应该连接的地方连接了就是短路。在晶圆制造领域,开短路测试可用来测试探针与晶圆上的焊盘(PAD)是否良好接触。一般,为了进行并行的带负载下的模拟输出电压信号测试,需要为每个引脚配置一个精密测量单元,但是,每个引脚配置一个精密测量单元需要花费较高的成本,而一般的测试装置不会进行如此昂贵的配置。如果测试仪没有为每个引脚配置一个精密测量单元,则无法进行并行的带负载下的模拟输出电压信号测试;这样的话,只能依次对各个引脚进行带负载下的模拟输出电压信号测试;由此,当存在大量裸片(die)需要测试,将耗费大量的 ...
【技术保护点】
一种量产同测方法,其特征在于包括:使用用于测量数字信号的电桥以及窗口比较器来测试模拟输出电压信号;其中使用电桥来拉灌电流,使用窗口比较器用于获取测试结果,从而可以根据窗口比较器的测试结果判断是否通过测试;其中,电桥包括第一二极管、第二二极管、第三二极管、以及第四二极管,其中,第一二极管和第二二极管的输入端相连,第三二极管和第四二极管的输出端相连,第一二极管连接至第四二极管的输入端,第二二极管的输出端连接至第三二极管的输入端;其中,第一二极管与第二二极管之间的连接点连接至第一灌电流,第二二极管与第三二极管之间的连接点连接至待测器件;第三二极管与第四二极管之间的连接点连接至第二 ...
【技术特征摘要】
1.一种量产同测方法,其特征在于包括:使用用于测量数字信号的电桥以及窗口比较器来测试模拟输出电压信号;其中使用电桥来拉灌电流,使用窗口比较器用于获取测试结果,从而可以根据窗口比较器的测试结果判断是否通过测试;其中,电桥包括第一二极管、第二二极管、第三二极管、以及第四二极管,其中,第一二极管和第二二极管的输入端相连,第三二极管和第四二极管的输出端相连,第一二极管连接至第四二极管的输入端,第二二极管的输出端连接至第三二极管的输入端;其中,第一二极管与第二二极管之间的连接点连接至第一灌电流,第二二极管与第三二极管之间的连接点连接至待测器件;第三二...
【专利技术属性】
技术研发人员:王磊,
申请(专利权)人:上海宏力半导体制造有限公司,
类型:发明
国别省市:
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