薄膜太阳能电池中TCO薄膜的绒面结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄膜太阳能电池中TCO薄膜的绒面结构，首先在玻璃基片上沉积第一层TCO薄膜，通过对第一层TCO薄膜表面进行处理，在第一层TCO薄膜表面形成较大尺寸的绒面，在绒面结构上继续沉积同一种TCO薄膜，形成第二层TCO薄膜，通过调整沉积过程的参数，或在第沉积完成后进行第二次表面处理，在大绒面上形成小尺寸的绒面结构。它的效果体现在：对于同一种TCO薄膜进行两次沉积，形成双重绒面结构可以增强陷光效果，对不同波段的光形成散射。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

薄膜太阳能电池中TCO薄膜的绒面结构
本技术属于透明导电氧化物薄膜
，具体涉及一种薄膜太阳能电池中同一种TCO薄膜的双重绒面结构。
技术介绍
透明导电氧化物(Transparent conductive oxides-TCO)薄膜指对可见光(入= 380 800nm)的平均透过率高(T彡80% )，低电阻率(P ( 10-3)的氧化物薄膜，目前广泛应用于硅基系列薄膜电池、碲化镉系列薄膜电池、铜铟镓硒系列薄膜电池或有机材料薄膜电池。TCO薄膜的陷光作用对器件性能非常重要，陷光结构的应用可以有效增强本征层的光学吸收，提高短路电流密度，从而提高电池效率。通常制备绒面结构前电极可实现陷光作用。目前制备薄膜太阳能电池TCO薄膜的工艺中，磁控溅射技术应用最为广泛。但是磁控溅射技术获得的TCO薄膜表面平整，晶粒较小，难以形成良好的光散射作用。TCO薄膜已经在硅基系列薄膜电池、碲化镉系列薄膜电池、铜铟镓硒系列薄膜电池、HIT电池或有机材料薄膜电池中获得了广泛的应用，它的一项重要指标是在保持高的导电率和透光率的前提下，具有高的光散射能力、延长光在本征层中的光程，提高电池对光的吸收。表面绒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜太阳能电池中TCO薄膜的绒面结构，包括基片，其特征在于，在基片上或者在包含基片的复合层上，沉积第一层带凹坑形绒面织构的TCO薄膜，在该第一层TCO薄膜上制备第二层带凹坑形绒面织构的TCO薄膜，其中第一层TCO薄膜和第二层TCO薄膜为同一种TCO薄膜；第一层TCO薄膜的凹坑尺寸为第二层TCO薄膜的凹坑尺寸的1.5～9倍。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：彭春超，赵跃林，林果，
申请(专利权)人：许昌天地和光能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：