下载薄膜太阳能电池中TCO薄膜的绒面结构的技术资料

文档序号:8360198

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本实用新型公开了一种薄膜太阳能电池中TCO薄膜的绒面结构,首先在玻璃基片上沉积第一层TCO薄膜,通过对第一层TCO薄膜表面进行处理,在第一层TCO薄膜表面形成较大尺寸的绒面,在绒面结构上继续沉积同一种TCO薄膜,形成第二层TCO薄膜,通过调...
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