基板收纳容器制造技术

提供一种基板收纳容器，其能够抑制容器主体和盖体等带电而吸附颗粒，从而防止颗粒对基板的污染。该基板收纳容器具备：容器主体（1），其收纳半导体晶片（W）并利用左右成对的支承片（2）支承半导体晶片（W）；拆装自如的盖体（10），其开闭容器主体（1）的开口的正面；以及接口部（40），其配设于容器主体（1）和盖体（10），并与加工装置的装载端口装置（31）连接，在盖体（10）开闭容器主体（1）的开口的正面的情况下，盖体（10）定位连接于装载端口装置（31），容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）分别由导电性材料形成，使其表面电阻值为103～1012Ω的范围内，以抑制颗粒随着容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）带静电而附着于容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及基板收纳容器，其在收纳、保管、搬运、输送由半导体晶片、玻璃晶片、 掩模玻璃等构成的基板时使用。
技术介绍
关于以往的基板收纳容器，虽未图示，但是具有排列收纳多片半导体晶片的容器主体；以及开闭该容器主体的开口的正面的盖体，基板收纳容器在半导体晶片的收纳、保管、搬运和输送等时使用，或者搭载于半导体晶片用的加工装置的装载端口(load port)装置(参照专利文献1、2、3)。容器主体和盖体分别是基本上大部分由含有稍微带电的绝缘性树脂的成形材料成形的，但是一部分由导电性材料形成。容器主体中，在其底部底面配置有固定用的底板和定位用的多个定位件，在内部两侧沿上下方向配设有水平地支承半导体晶片的多个左右成对的支承片。多个定位件具有这样的功能与装载端口装置的导电性定位销嵌合，对容器主体即基板收纳容器高精度地进行定位。该多个定位件和容器主体的支承片分别由导电性的树脂成形，在各定位件与支承片之间，连结有导电性的连结部件进行连接，该连结部件具有这样的功能使支承于支承片的半导体晶片所带的静电释放到外部而消散。另外，在容器主体的背面壁选择性地形成有所收纳的半导体晶片用的观察窗。盖体例如成形为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤森义昭，小川统，
申请(专利权)人：信越聚合物株式会社，
类型：
国别省市：