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提供一种基板收纳容器，其能够抑制容器主体和盖体等带电而吸附颗粒，从而防止颗粒对基板的污染。该基板收纳容器具备：容器主体（1），其收纳半导体晶片（W）并利用左右成对的支承片（2）支承半导体晶片（W）；拆装自如的盖体（10），其开闭容器主体（1...
该专利属于信越聚合物株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越聚合物株式会社授权不得商用。

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