【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器抟术区域本专利技术涉及基板收纳容器，用于在保管、输送等时对多个如半导体晶片或圆形的石英玻璃基板等那样的薄圆盘状基板进行收纳。
技术介绍
在基板收纳容器上一般设置有容器主体，用于以并列地排列的状态收纳多个如半导体晶片等那样的圆盘状的基板。在该容器主体上，形成有用于取送圆盘状基板的基板取送开ロ。而且，用于封闭基板取送开ロ的盖体以从外侧拆装自如地安装在基板取送开口上的方式设置。为了在容器主体内将圆盘状基板保持在不会晃动的状态，而在从容器主体内的基 板取送开ロ观察的里侧的区域内，配置有里侧保持部，在盖体的内壁部上设置有盖侧保持器。但是，盖侧保持器若不处于盖体安装在容器主体的基板取送开口上的状态，就不能成为对圆盘状基板进行保持的状态。因此，在未安装有盖体的状态时，在基板取送开ロ的附近区域设置有用于载置圆盘状基板的基板临时载置片。在圆盘状基板成为被盖侧保持器保持的状态时，成为从基板临时载置片悬置的状态(例如，专利文献I)。专利文献I :日本特表2003-522078图10等近年，以生产性的提升或成本降低为目的，半导体晶片等的大直径化在不断发展。在半导体晶片的情况下，现在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
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