基板收纳容器制造技术

本发明专利技术提供一种基板收纳容器。设定基板临时载置片(4)的位置，使得在盖体(20)安装在容器主体(1)的基板取送开口(2)上，且圆盘状基板(W)推入至被里侧保持部(3)定位保持的位置上的状态时，在相对于圆盘状基板(W)的面垂直的方向上观察，基板临时载置片(4)与圆盘状基板(W)变得不重叠。由此，即使收纳在容器主体(1)内的圆盘状基板(W)因振动或者冲击等而弯曲，也没有与基板临时载置片(4)接触的担心，即使是被大直径化的圆盘状基板(W)也能够安全地进行收纳。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器抟术区域本专利技术涉及基板收纳容器，用于在保管、输送等时对多个如半导体晶片或圆形的石英玻璃基板等那样的薄圆盘状基板进行收纳。
技术介绍
在基板收纳容器上一般设置有容器主体，用于以并列地排列的状态收纳多个如半导体晶片等那样的圆盘状的基板。在该容器主体上，形成有用于取送圆盘状基板的基板取送开ロ。而且，用于封闭基板取送开ロ的盖体以从外侧拆装自如地安装在基板取送开口上的方式设置。为了在容器主体内将圆盘状基板保持在不会晃动的状态，而在从容器主体内的基 板取送开ロ观察的里侧的区域内，配置有里侧保持部，在盖体的内壁部上设置有盖侧保持器。但是，盖侧保持器若不处于盖体安装在容器主体的基板取送开口上的状态，就不能成为对圆盘状基板进行保持的状态。因此，在未安装有盖体的状态时，在基板取送开ロ的附近区域设置有用于载置圆盘状基板的基板临时载置片。在圆盘状基板成为被盖侧保持器保持的状态时，成为从基板临时载置片悬置的状态(例如，专利文献I)。专利文献I :日本特表2003-522078图10等近年，以生产性的提升或成本降低为目的，半导体晶片等的大直径化在不断发展。在半导体晶片的情况下，现在其直径为300mm是主流，但是可以预想在不远的将来可能会变为450mm。当在基板收纳容器上施加有振动或者冲击等时，收纳在其内部的圆盘状基板上会发生弯曲。这样的圆盘状基板的弯曲量，伴随着圆盘状基板被大直径化而显著扩大。这是因为不能将圆盘状基板的厚度与直径相对应地增厚。因此，当在基板收纳容器上施加有振动或者冲击而使其弯曲时，在基板收纳容器内保持在以从基板临时载置片悬置的状态下的圆盘状基板，有可能与基板临时载置片接触(或者冲击)，而在基板收纳容器内发生损伤、污损。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供ー种基板收纳容器，即使所收纳的圆盘状基板因振动或者冲击等而弯曲，也没有与基板临时载置片接触的担心，并且也能够安全地收纳被大直径化的圆盘状基板。为了达成上述的目的，本专利技术的基板收纳容器，其具有容器主体，用于以并列排列的状态收纳多个圆盘状基板；基板取送开ロ，为了在所述容器主体中取送所述圆盘状基板，而形成在所述容器主体上；盖体，为了封闭所述基板取送开ロ，而拆装自如地从外侧安装在所述基板取送开口上；里侧保持部，在从所述容器主体内的所述基板取送开ロ观察的里侧的区域中，将所述各圆盘状基板的外缘部定位保持；盖侧保持器，设置在所述盖体的内壁部上，且以将所述各圆盘状基板向所述里侧保持部侧推入的方式定位保持；和基板临时载置片，用于在所述盖体没有被安装在所述基板取送开口上的状态时，在所述基板取送开ロ的附近区域载置所述圆盘状基板，其特征在干，所述基板收纳容器设置有基板载置部，用于在所述圆盘状基板没有被所述盖侧保持器推入的状态时，在从所述容器主体内的所述基板取送开ロ观察的里侧的区域中，载置所述圆盘状基板的外缘部附近；和基板返回机构，用于在被所述盖侧保持器推入的所述圆盘状基板成为不被所述盖侧保持器推入的状态时，使所述圆盘状基板返回至不被所述里侧保持部定位保持的位置上，设定所述基板临时载置片的位置，使得在所述盖体从所述基板取送开ロ被取下，且所述圆盘状基板不被所述里侧保持部定位保持的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板相互重叠，另外，在所述盖体安装到所述基板取送开口上，且所述圆盘状基板推入至被所述里侧保持部定位保持的位置上的状态时，从相对于所述圆盘状基板的面垂直的方向上观察，所述基板临时载置片与所述圆盘状基板变得不重叠。此外，也可以为，所述基板返回机构是抵接于所述圆盘状基板的外周面上的弹簧状部件，也可以为，所述基板载置部与抵接于所述圆盘状基板上的所述弹簧状部件的抵接面相邻，并与所述弹簧状部件形成为一体。而且，也可以为，所述弹簧状部件以从所述里侧保持部的端部延伸的状态设置。 而且，也可以为，所述里侧保持部与所述基板载置部相邻且设置为一体，在该情况下，也可以为，在所述里侧保持部与所述基板载置部之间形成有孔，所述弹簧状部件的前端部分从所述孔通过而抵接到所述圆盘状基板的外周面上。而且，也可以为，所述基板返回机构是通过重力将所述圆盘状基板向斜下方引导的斜面。在该情况下，也可以为，所述里侧保持部与所述基板载置部将所述斜面置于其间地连续一体形成，并且也可以为，所述斜面是在所述里侧保持部上形成V槽的两面之中的一方的面。专利技术的效果根据本专利技术，设定基板临时载置片的位置，使得在盖体安装在基板取送开口上，且圆盘状基板推入至被里侧保持部定位保持的位置上的状态时，从相对于圆盘状基板的面垂直的方向上观察，基板临时载置片与圆盘状基板变得不重叠，由此，即使圆盘状基板被大直径化，也没有收纳在容器主体内的圆盘状基板因振动或者冲击等而与基板临时载置片接触的担心，从而能够更安全地收纳如半导体晶片或者石英玻璃基板等那样的圆盘状基板。附图说明图I是在本专利技术的第一实施例的基板收纳容器中，盖体被取下的状态的外观立体图。图2是在本专利技术的第一实施例的基板收纳容器中，盖体被取下的状态的俯视剖视图。图3是在本专利技术的第一实施例的基板收纳容器中，支承基板的部件的单体立体图。图4是在本专利技术的第一实施例的基板收纳容器中，未安装有盖体的状态的复合侧剖视图。图5是在本专利技术的第一实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的复合侧剖视图。图6是在本专利技术的第一实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的俯视剖视图。图7是在本专利技术的第二实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的俯视剖视图。图8是在本专利技术的第二实施例的基板收纳容器中，支持基板的部件的单体立体图。图9是表示图7中IX-IX截面的剖视图。图10是表示图7中X-X截面的剖视图。 图11是在本专利技术的第三实施例的基板收纳容器中，盖体被取下的状态的俯视剖视图。图12是表示图11中XII-XII截面的剖视图。图13是在本专利技术的第三实施例的基板收纳容器中，安装有盖体的状态的俯视剖视图。图14是表示图13中XIV-XIV截面的剖视图。具体实施例方式以下，參照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图I是本专利技术的第一实施例的基板收纳容器的立体图，图2是其俯视剖视图。I是容器主体，用于以并列地排列的状态对形成为薄圆盘状的多个圆盘状基板W进行收纳。容器主体I在圆盘状基板被取送时，使各圆盘状基板W配置在以水平的朝向被收纳的状态下。在容器主体I内，以使多个圆盘状基板W在相互之间隔开间隙的方式，在面与面相对的方向上收纳有多个。但是在图I中，图示了只在容器主体I内的最下层位置上收纳有一张圆盘状基板W的状态。另外，虽然在该实施例中的圆盘状基板W是半导体晶片，但是本专利技术也适用圆形的石英玻璃基板等。在容器主体I的四个侧面之中的一个侧面上，形成有用于取送圆盘状基板W的基板取送开ロ 2。而且，用于封闭该基板取送开ロ 2的盖体20，以从外侧拆装自如地安装在基板取送开ロ 2上的方式设置。另外，在盖体20上设有，用于将基板取送开ロ 2与盖体20的外缘部之间密封的具有弹性的密封部件，及用于锁定盖体20的锁定机构等，但省略了关于这些部件的说明。在从容器主体I内的基板取送开ロ 2观察的里侧的区域中，配置有里侧保持部3，用于将各圆盘状基板W的外缘部定位保持在容器主体I内。如图2所示，里侧保持部3从基板取送开ロ 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：永岛刚，
申请(专利权)人：未来儿株式会社，
类型：
国别省市：