下载基板收纳容器的技术资料

文档序号:8164840

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本发明提供一种基板收纳容器。设定基板临时载置片(4)的位置,使得在盖体(20)安装在容器主体(1)的基板取送开口(2)上,且圆盘状基板(W)推入至被里侧保持部(3)定位保持的位置上的状态时,在相对于圆盘状基板(W)的面垂直的方向上观察,基板...
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