基板收纳容器制造技术

提供一种能够使上锁机构无金属化、能够又使上锁机构的上锁爪顺畅动作又确保盖体的密闭性的基板收纳容器。将上锁爪(40)由上锁块(41)、连结杆(44)和凸轮轮毂(46)构成，所述上锁块(41)被夹在盖体(10)的一对上锁机构用引导块间而能够在盖主体内外方向上直动，并且能够在盖主体厚度方向上摆动，所述连结杆(44)被连结在上锁机构(30)的进退运动杆(34)，所述凸轮轮毂(46)被嵌入于上锁机构用引导块的凸轮槽(17)；由含有树脂的成形材料将上锁块(41)、连结杆(44)及凸轮轮毂(46)一体成形；在上锁块(41)形成凹部，在其两侧间轴架树脂销(49)，并且使推压树脂辊(50)嵌通在树脂销(49)；在凸轮轮毂周面形成一对平坦面(47)；将凸轮槽(17)分割为与平坦面(47)滑动接触来限制上锁爪(40)的摆动的直动用直线槽(19)和使上锁爪(40)摆动的摆动用圆弧槽。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及在微环境方式的半导体工厂中使用、来输送或保管半导体晶片的基板收纳容器，更详细地讲涉及将盖体上锁的上锁机构的改良。

技术介绍

1、在半导体工厂中，在φ300mm的半导体晶片的输送、保管中使用被称作foup(frontopening unified pod；前开式统一盒)的基板收纳容器，但该基板收纳容器如在图19中部分地表示那样，具备：容器主体1，收纳多片半导体晶片；盖体，被嵌合在该容器主体1的开口的正面2；以及一对上锁机构，将被嵌合在容器主体1的正面2的盖体上锁；在盖体中内置有一对上锁机构，该一对上锁机构被以semi标准进行了标准化的盖体开闭机操作(参照专利文献1、2、3)。

2、盖体被形成为被拆装自如地嵌合在容器主体1的开口的正面2的大致箱形，在其周壁穿设有需要数量的一对上锁机构用的出没口，在背面的周缘部嵌合着压接于容器主体的正面内周而变形的环形的密封垫圈。此外，各上锁机构具备下述部件而构成：操作卷盘(操作リール)，被盖体支承并通过从盖体开闭机的外部的钥匙(キー)操作而旋转；一对进退运动杆34a，通过各操作卷盘的旋转而在上下方向上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基板收纳容器，具备：盖体，被嵌合在能够收纳基板的容器主体的开口部；以及上锁机构，将该被嵌合的盖体上锁，其特征在于，

2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，

3.如权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，

4.如权利要求1、2或3所述的基板收纳容器，其特征在于，

5.如权利要求1～4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，

6.如权利要求5所述的基板收纳容器，其特征在于，

7.如权利要求6所述的基板收纳容器，其特征在于，

8.如权利要求1～7中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种基板收纳容器，具备：盖体，被嵌合在能够收纳基板的容器主体的开口部；以及上锁机构，将该被嵌合的盖体上锁，其特征在于，

2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，

3.如权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，

4.如权利要求1、2或3所述的基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫田辽，
申请(专利权)人：信越聚合物株式会社，
类型：发明
国别省市：