【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在微环境方式的半导体工厂中使用、来输送或保管半导体晶片的基板收纳容器，更详细地讲涉及将盖体上锁的上锁机构的改良。
技术介绍
1、在半导体工厂中，在φ300mm的半导体晶片的输送、保管中使用被称作foup(frontopening unified pod；前开式统一盒)的基板收纳容器，但该基板收纳容器如在图19中部分地表示那样，具备：容器主体1，收纳多片半导体晶片；盖体，被嵌合在该容器主体1的开口的正面2；以及一对上锁机构，将被嵌合在容器主体1的正面2的盖体上锁；在盖体中内置有一对上锁机构，该一对上锁机构被以semi标准进行了标准化的盖体开闭机操作(参照专利文献1、2、3)。
2、盖体被形成为被拆装自如地嵌合在容器主体1的开口的正面2的大致箱形，在其周壁穿设有需要数量的一对上锁机构用的出没口，在背面的周缘部嵌合着压接于容器主体的正面内周而变形的环形的密封垫圈。此外，各上锁机构具备下述部件而构成：操作卷盘(操作リール)，被盖体支承并通过从盖体开闭机的外部的钥匙(キー)操作而旋转；一对进退运动杆34a，通过各操作卷盘的旋转而在上下方向上进退运动；以及能够摆动的一对上锁爪40a，与各进退运动杆34a的前进联动，从盖体的出没口突出而卡止于容器主体1的正面内周的上锁凹穴(施錠ポケット)4。
3、各上锁爪40a被形成为截面大致倒t字形，其下部的背面经由连结销60能够摆动地被轴支承在进退运动杆34a的前端部，下部的表面经由支承销61能够摆动地被轴支承在盖体内的出没口附近，在前端部经由辊销62能够旋转地轴支承
4、在上述中，在将盖体嵌合在容器主体1的开口的正面2并上锁的情况下，盖体开闭机将盖体嵌合在容器主体1的开口的正面2，该盖体开闭机的操作钥匙将各上锁机构的操作卷盘以规定的角度旋转操作。于是，随着操作卷盘的旋转，各进退运动杆34a在盖体的周壁方向上前进，随着该进退运动杆34a的前进，各上锁爪40a从盖体内穿过出没口向盖体外部摆动突出，并且该摆动突出的上锁爪40a卡止于容器主体1的上锁凹穴内，通过该上锁爪40a的卡止，嵌合在容器主体1的正面2的盖体被拉入并上锁。
5、相对于此，在从容器主体1的正面2将盖体开锁并拆下的情况下，盖体开闭机的操作钥匙将各上锁机构的操作卷盘旋转操作到原来的基准位置。于是，随着操作卷盘的旋转返回，前进的各进退运动杆34a后退返回到盖体的原来的基准位置，随着该进退运动杆34a的后退返回，突出的各上锁爪40a从容器主体1的上锁凹穴4穿过出没口摆动返回到盖体内，通过该上锁爪40a的摆动返回，嵌合在容器主体1的正面2的盖体变得能够拆下，由盖体开闭机将盖体从容器主体1的正面2拔出并拆下。
6、可是，近年来，从消除对于收纳在容器主体1的半导体晶片的各种各样的不良影响的观点，在基板收纳容器的上锁机构希望不使用金属材料的无金属化。鉴于这一点，研究了将上锁爪40a的连结销60、支承销61及辊销62不是做成sus销而是做成树脂销。
7、现有技术文献
8、专利文献
9、专利文献1：日本特开2000-058633号公报
10、专利文献2：日本特开2021-028936号公报
11、专利文献3：日本特开2017-130548号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、但是，即使代替sus销而简单使用同径的树脂销，也不能确保充分的强度、耐久性，有树脂销偏心等而损坏的担忧。作为消除该担忧的手段，可以举出将树脂销扩径形成而将其加粗的方法，但在采用该方法的情况下，由于上锁爪40a的推压辊50a也变粗，所以新产生突出的上锁爪40a的返回变得困难这一问题。
3、作为解决这样的问题的手段，可以举出将上锁爪40a的摆动中心在盖体的厚度方向、内外方向(图19的上下方向)上错移这一方法，但在采用该方法的情况下，由于上锁爪40a不再充分地卡止于容器主体1的上锁凹穴4，所以不再能够期待盖体的密封垫圈的适当的变形。其结果，盖体的密封性变差而导致容器主体内的半导体晶片的污染，新产生半导体晶片的品质下降这一大问题。
4、本专利技术是鉴于上述而做出的，目的是提供一种能够实现上锁机构的无金属化，并且能够又使上锁机构的上锁爪顺畅地动作又充分地确保盖体的密闭性的基板收纳容器。
5、用来解决课题的手段
6、在本专利技术中，为了解决上述课题，基板收纳容器具备：盖体，被嵌合在能够收纳基板的容器主体的开口部；以及上锁机构，将该被嵌合的盖体上锁，其特征在于，盖体包括：盖主体，被嵌合在容器主体的开口部；以及多个上锁机构用引导部件，被安装在该盖主体；在盖主体的周缘部，设置能够与容器主体的开口部内周的上锁凹穴对置的多个出没口；使多个上锁机构用引导部件对置并在其对置面形成凸轮槽；上锁机构包括：多个进退运动部件，通过被盖体的盖主体支承的操作部件的旋转而在盖主体的内外方向上进退运动；以及多个上锁爪，在进退运动部件的前进时从盖主体的出没口突出而被嵌入于容器主体的上锁凹穴，在进退运动部件的后退时从容器主体的上锁凹穴返回到盖主体的出没口；上锁爪包括：上锁块，被夹在盖体的多个上锁机构用引导部件之间而能够在盖主体的内外方向上直动(笔直地运动)，并且能够在盖主体的厚度方向上摆动(摇摆运动)；多个连结杆，从该上锁块突出而被连结在上锁机构的进退运动部件；以及多个凸轮突起，从上锁块突出而被嵌入于多个上锁机构用引导部件的凸轮槽；由含有规定的树脂的成形材料将这些上锁块、多个连结杆及多个凸轮突起一体成形；在上锁块形成凹部并在其两侧间架设树脂销；并且将与容器主体的上锁凹穴内接触的树脂辊嵌通在该树脂销，在凸轮突起的周面隔开规定的间隔形成多个平坦面；将上锁机构用引导部件的凸轮槽分割为直动用直线槽和摆动用圆弧槽，所述直动用直线槽与上锁爪的凸轮突起的多个平坦面接触来限制上锁爪的摆动，所述摆动用圆弧槽宽度宽地形成在该直动用直线槽的端部而能够进行上锁爪的摆动。
7、另外，可以为，将容器主体形成为能够收纳多片半导体晶片的前开盒，能够在其开口的正面将盖体拆装自如地嵌合，在该盖体的盖主体的周缘部附近安装多个上锁机构用引导部件，将该多个上锁机构用引导部件中的与盖主体的侧部接近的上锁机构用引导部件与门导引部一体化。
8、此外，可以为，在上锁机构将被嵌合在容器主体的正面的盖体上锁并拉入到容器主体内的情况下，使上锁爪的凸轮突起位于将容器主体的上锁凹穴区划的前壁的内表面的延长线附近。
9、此外，可以为，在盖体的盖主体的表面两侧形成上锁机构用的设置区域，在盖主体安装将上锁机构覆盖的罩板，将上锁机构的进退运动部件在盖体的厚度方向上弯曲，在该进退运动作部件的表背两面的至少某一方形成强度确保肋。
10、此外，优选为，在上锁机构的进退运动部件的前端部两侧将多个连结爪形成为截面大致半圆弧形本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基板收纳容器，具备：盖体，被嵌合在能够收纳基板的容器主体的开口部；以及上锁机构，将该被嵌合的盖体上锁，其特征在于，
2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
3.如权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，
4.如权利要求1、2或3所述的基板收纳容器，其特征在于，
5.如权利要求1～4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
6.如权利要求5所述的基板收纳容器，其特征在于，
7.如权利要求6所述的基板收纳容器，其特征在于，
8.如权利要求1～7中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种基板收纳容器，具备：盖体，被嵌合在能够收纳基板的容器主体的开口部；以及上锁机构，将该被嵌合的盖体上锁，其特征在于，
2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
3.如权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，
4.如权利要求1、2或3所述的基板...
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