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基板收纳容器制造技术
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文档序号:43650793
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提供一种能够使上锁机构无金属化、能够又使上锁机构的上锁爪顺畅动作又确保盖体的密闭性的基板收纳容器。将上锁爪(40)由上锁块(41)、连结杆(44)和凸轮轮毂(46)构成,所述上锁块(41)被夹在盖体(10)的一对上锁机构用引导块间而能够在盖...
该专利属于信越聚合物株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越聚合物株式会社授权不得商用。
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