【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石英晶片腐蚀机。
技术介绍
石英晶片腐蚀机是用于给晶片腐蚀,使用时,将晶体片盛放在晶片篮,然后放在腐蚀液池中,摇动晶片篮对晶片进行腐蚀,腐蚀完后再把晶片篮放在清洗池中,摇动进行清洗。现有技术中都是用手拿晶片篮,手动摇动进行清洗,使用这种方式工人劳动强度大,生产效率低。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种结构合理,生产效率高,无需人工自动操作的石英晶片腐蚀机。本专利技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的,本专利技术是一种石英晶片腐蚀机,包括箱体,箱体内设有腐蚀液池和清洗池,其特点是在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构,所述的自动清洗摆动机构包括与气缸连接并驱动其升降的支臂,支臂上端通过转轴连接有横梁,横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架,所述的横梁内设有相互哨合的主动齿轮和从动齿轮,主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连,从动齿轮与清洗架相接; 在腐蚀液池和清洗池上方分别设有腐蚀液喷淋头和清洗液喷淋头,腐蚀液喷淋头通过腐蚀液管路与腐蚀液池连接,腐蚀液管路上设有腐蚀液喷淋泵,清洗液喷淋头通 ...
【技术保护点】
一种石英晶片腐蚀机,包括箱体,箱体内设有腐蚀液池和清洗池,其特征在于:在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构,所述的自动清洗摆动机构包括与气缸连接并驱动其升降的支臂,支臂上端通过转轴连接有横梁,横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架,所述的横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿轮,主动齿轮与横梁上的驱动电机输出轴相连,从动齿轮与清洗架相接;在腐蚀液池和清洗池上方分别设有腐蚀液喷淋头和清洗液喷淋头,腐蚀液喷淋头通过腐蚀液管路与腐蚀液池连接,腐蚀液管路上设有腐蚀液喷淋泵,清洗液喷淋头通过清洗液管路与清洗池相连,清洗管路上设有清洗液喷淋泵。
【技术特征摘要】
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