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石英晶片腐蚀机制造技术
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文档序号:8296336
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本发明是一种石英晶片腐蚀机,包括箱体,箱体内设有腐蚀液池和清洗池,在腐蚀液池和清洗池之间的台面上设有自动清洗摆动机构,自动清洗摆动机构包括的支臂上端通过转轴连接有横梁,横梁的前端连接有盛放晶片篮的清洗架,横梁内设有相互啮合的主动齿轮和从动齿...
该专利属于徐培炎所有,仅供学习研究参考,未经过徐培炎授权不得商用。
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