本实用新型专利技术公开了一种空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口，所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。本实用新型专利技术提供的空气刀装置在使用过程中通过导流槽，将溅落到第一板体的外表面的液滴汇聚而成的液流被导向别处流下，进而降低了液流对气体喷射口形成的气幕均匀性的影响。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及液晶显示面板生产加工
，特别涉及一种空气刀装置。
技术介绍
随着九十年代TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶体管液晶显示器)技术的成熟，液晶显示面板由于其平板、轻薄、低功耗、多样化、环保性等优点得到迅速发展。随着液晶显示面板中玻璃基板的大型化，为保证产品的合格率，TFT-LCD的生产技术中各步工艺的均一性要求面临着更大的挑战。其中，湿法刻蚀是TFT-IXD加工工艺中重要的一环，利用混合酸液对玻璃表面光刻胶未覆盖的金属进行刻蚀，从而形成所需要的金属图案。而在实际工艺过程中，刻蚀设备 刻蚀反应单元的出口处安装有空气刀装置，空气刀装置用于截留刻蚀液，减少产品对刻蚀液的带出量，降低生产成本；空气刀装置还可以用来对湿法刻蚀工艺中的清洗液进行截留坐寸ο如图I所示，图I为现有技术中的一种空气刀装置的侧视剖视截面结构示意图。图I所示方位的空气刀装置主要包括具有板状结构的气刀本体，气刀本体有通过固定件4固定连接的第一板体I和第二板体2组成，第一板体I和第二板体2中相对的两个面之间形成气体腔室6，第一板体I和第二板体2的下端形成喷嘴部，如图I中所示A区域，第一板体I上具有至少一个与气体腔室6流体连通的气体通入口 3，且上述喷嘴部的下端具有一线缝隙状的气体喷射口 5，气体喷射口 5与气体腔室6流体连通；高压气体通过气体通入口 3通入气体腔室6，并通过气体喷射口 5喷向玻璃基板，以对玻璃基板上的刻蚀液进行截留。由于空气刀装置的第一板体I 一般对应的是刻蚀液及清洗液的喷淋单元，刻蚀液以及清洗液会溅落到第一板体I上，而气体喷射口 5位于气刀本体的下端，且横向延伸，溅落在第一板体I上的刻蚀液及清洗液的液滴汇聚形成的液流会流向气刀本体的下端，并在气体喷射口 5处流下，气体喷射口 5处流下的液流会影响缝隙状的气体喷射口 5喷射气幕的均匀性，导致气体喷射口 5喷射的气幕分叉不均，造成气体喷射口 5对玻璃基板上残留的刻蚀液的截留不均匀，造成产品中由于残留刻蚀液不均匀造成的各种不良，甚至造成产品直线不良区域的出现，严重影响了产品的质量。
技术实现思路
本技术提供一种空气刀装置，能够降低液流对气体喷射口形成的气幕均匀性的影响，进而提高产品质量。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案一种用于湿法刻蚀设备的空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口；所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。优选地，所述第二板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第二板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽。优选地，第二板体背离所述气体腔室的外表面具有两个导流槽。优选地，所述第一板体和第二板体通过两排紧固螺丝固定连接，每一个所述紧固螺丝由第二板体穿过与第一板体固定连接，且每一排所述固定螺丝在所述第二板体上的一个导流槽内均匀分布。·优选地，一个所述导流槽的两个侧壁中，靠近所述气体喷射口的第一侧壁与导流槽的槽底之间的夹角为锐角。优选地，至少一个所述导流槽的两个侧壁中，靠近所述气体喷射口的第一侧壁具有导流坡；沿所述导流坡的导流顶点指向导流底点的方向，所述导流坡的上游点距所述喷嘴部的端表面的距离，大于所述导流坡的下游点距所述喷嘴部的端表面的距离。优选地，所述第一侧壁具有一个导流坡，所述导流坡的导流顶点为第一侧壁的一端，所述导流坡的导流底点为第一侧壁的另一端。优选地，所述第一侧壁具有两个导流坡，两所述导流坡具有同一个导流顶点，一所述导流坡的导流底点为第一侧壁的一端，另一所述导流坡的导流底点为第一侧壁的另一端。优选地，所述气体通入口为多个，且沿所述气刀本体的长度方向均匀分布。优选地，所述第一板体与第二板体相对的两个面之间具有密封垫片。本技术提供的用于湿法刻蚀设备的空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口，所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。本技术提供的空气刀装置在使用过程中，其气体喷射口的喷射方向向下，高压气体通过气体通入口通入气体腔室内，并通过气体喷射口喷出，形成气幕，对产品表面的刻蚀液以及清洗液等液体进行截留；其中，第一板体朝向湿法刻蚀设备的喷淋装置，喷淋装置喷淋的液滴溅落在第一板体背离气体腔室的外表面，第一板体外表面上的液滴汇聚后向下流动，由于第一板体外表面设有至少一个导流槽，液滴汇聚之后形成的液流会流入导流槽，并沿导流槽导离气体喷射口所对应的区域。这样，溅落到第一板体的外表面的液滴汇聚而成的液流被导流槽导向别处流下，进而降低了液流对气体喷射口形成的气幕均匀性的影响。因此，本技术提供的空气刀装置能够降低液流对气体喷射口形成的气幕均匀性的影响，进而提高产品质量。附图说明图I为现有技术中的一种空气刀装置的侧视剖视截面结构示意图；图2为本技术提供的空气刀装置的剖视截面结构示意图；图3为本技术提供的空气刀装置中第二板体中一种导流槽结构示意图；图4为本技术提供的空气刀装置中第一板体的正视结构示意图。图5为本技术提供的空气刀装置中第二板体中另一种导流槽结构示意图；图6为本技术提供的空气刀装置中第一板体中另一种导流槽结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术的技术方案一中提供的空气刀装置，包括气刀本体，气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，气体喷射口与气体腔室流体连通，第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口；第一板体背离气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，导流槽贯穿第一板体的长度方向。空气刀装置在使用过程中，第一板体对应湿法刻蚀设备的喷淋装置，通过第一板体背离气体腔室的外表面设置的至少一个导流槽，将溅落在第一板体上的液滴汇聚而成的液流导离气体喷射口所对应的区域，进而降低液流对气体喷射口喷射形成气幕的均匀性，提闻广品质量。作为本技术的技术方案二，本技术方案在技术方案一的基础上，为了降低第二板体上的液滴汇聚而成的液流对气体喷射口形成气幕均匀性的影响，第二板体背离气体腔室的外表面具有至少一个导流本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于湿法刻蚀设备的空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口，其特征在于，所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李登涛，侯智，吴代吾，杨子衡，梁亚东，李茜茜，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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