离子分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出的一种离子分离装置，通过在绝缘子外围添加开口向上的第一罩子和开口向下并罩在第一罩子外围的第二罩子来保护绝缘子，避免其遭受污染，从而确保绝缘子的绝缘性，使石墨盘与萃取机本体完全绝缘，进而延长离子分离装置的工作时间。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及到半导体生产行业中的离子注入机台，尤其涉及离子分离装置。
技术介绍
在离子注入机台中，离子的产生是通过电子轰击气体而得到的。离子离开离子源后会经过一个叫萃取(extraction)的装置，这个装置的目的是为了防止二次电子和萃取出离子。萃取装置上有两个电极，一个是电极抑制端(Electrode Suppression),—个电电极接地端(Electrode Ground)。通常萃取装置工作时，需要在电极抑制端上加-5KV到-10KV的电压，并将电极接地端接地，离子先经过电极抑制端再经过电极接地端。为了电极抑制端可以上下以及前后活动，所以在电极抑制端和外界相连的地方安装了一个活动部件(bellow),电极抑制端上的电压是通过bellow导向电极抑制端的；而在bellow下方装了一个绝缘子，这个绝缘子的目的是为了让bellow上的电压和extraction的本体绝缘。但在实际生产过程中，由于离子源出来的多样性，导致绝缘子容易被溅射到并被污染。由于绝缘 子紧紧贴着bellow, —旦bellow加的电压很大,bellow和绝缘子在受到污染很严重的情况下，绝缘子就被放电，从而表面遭到击穿，进而失去绝缘的作用。
技术实现思路
本技术提出的离子分离装置，其目的在于能够保护绝缘子不受污染，从而保证其绝缘性。为了实现上述目的，本技术提出的离子分离装置，包括萃取机本体，顶部提供一开口 ；第一绝缘子，固定于所述萃取本体机开口内；活动部件，下端固定连接在所述第一绝缘子的上端；第一罩子，固定连接在所述活动部件上端的外周，并且开口朝上；第二绝缘子，下端与所述活动部件的定端固定连接；第二罩子，固定连接在所述第二绝缘子上端的外周表面，开口朝下并罩在所述第一罩子的外围；石墨盘，位于所述第二罩子上方并电连接所述第二罩子，所述石墨盘的盘面垂直于所述第二绝缘子上端表面；电源线，一端连接所述第二罩子，另一端连接一电源。进一步地，所述第一绝缘子的材质为氧化铝。进一步地，固定于所述第一绝缘子的下端外周的一绝缘O型橡胶圈。进一步地，所述第一绝缘子通过螺丝固定在所述萃取机本体的圆形开口内。进一步地，所述活动部件下端通过螺丝与所述第一绝缘子上端相连接。进一步地,所述活动部件为圆柱体,其直径为5cnT8cm。进一步地，所述第一罩子通过螺丝固定在所述活动部件上端的外周。进一步地，所述第一罩子的材质为铝。进一步地，所述第一罩子为圆锥体、圆柱体或长方体。进一步地,所述第一罩子的上端口径大小为6cnTl0cm,深度为lcnT3cm。进一步地，所述活动部件上端有一圆形内部带有内螺纹的开口。进一步地，所述第二绝缘子下端有与所述开口内螺纹尺寸相匹配的外螺纹。进一步地，所述第二绝缘子下端与所述活动部件通过螺丝固定。进一步地，所述第二绝缘子材质为氧化铝。进一步地，所述第二绝缘子为圆柱体，其直径为2cnT5cm,高度为5mnT2cm。 进一步地，所述第二罩子与所述第二绝缘子上端通过螺丝固定连接，开口朝下且其必须保持与所述第一罩子最外沿的水平和竖直距离都相隔5mm以上。进一步地，所述第二罩子的材质为铝。进一步地，所述第二罩子为圆锥体或柱体。进一步地,所述第二罩子下端口径大小为8cnTl3cm,深度为3cnT8cm,下端口径必须大于第一罩上端的口径，深度必须大于第一罩深度3 5cm,并且所述第二罩与所述萃取机本体之间最少保持5cm以上的距离。进一步地，所述电源线通过螺丝与所述第二罩子固定连接。进一步地，所述石墨盘通过螺丝与所述第二绝缘子上端和所述第二罩子上端相连。与现有技术相比，本技术提出的离子分离装置，其有益效果主要体现在通过在绝缘子外围添加开口向上的第一罩子和开口向下并罩在第一罩子外围的第二罩子来保护绝缘子，避免其遭受污染，从而确保绝缘子的绝缘性，使石墨盘与萃取机本体完全绝缘，进而延长离子分离装置的工作时间。附图说明图I为本技术实施例一中第二绝缘子安装在活动部件中的结构示意图；图2为本技术实施例一中圆锥体罩的装置结构示意图；图3为本技术实施例二中第二绝缘子安装在活动部件上的结构示意图；图4为本技术实施例二中圆柱体罩的装置结构示意图。具体实施方式为了便于理解，下面结合具体实施例一、二和附图对本技术作进一步的描述。实施例一请参考图1，本实施例提供一种离子分离装置，包括第一绝缘体1，活动部件2，第二绝缘体3,第一罩子4,第二罩子5,石墨盘6,电源线7,萃取机本体8。在本实施例中，第一绝缘子I包括其下端外周一圈的O型橡胶圈(图中未示出)，并全部通过绝缘螺丝固定在萃取机本体8圆形开口内，上端通过螺丝与活动部件2相连。请参考图2，在本实施例中，活动部件2上端带有圆形开口，在开口内壁设有内螺纹；第二绝缘子3下端带有与活动部件2上端开口内螺纹尺寸相匹配的外螺纹，并通过螺纹固定在活动部件2的圆形开口内。请参考图1，在本实施例中，第一罩子4通过螺丝固定在活动部件2的上端，且第一罩子4的开口朝上；第二罩子5和石墨盘6通过螺丝固定在第二绝缘子3的上端，第二罩子5与石墨盘6电连接，并且第二罩子5开口向下，罩在第二罩子外圈，且比在第一罩子最外沿保持间距为5mm ;电源线7 —端与第二罩子5通过螺丝连接，另一端连接一电源，并且电源线7与萃取机本体8彼此完全绝缘。请参考图I，在本实施例中，第一绝缘子I和第二绝缘子3的材质为氧化铝；第二绝缘子3为圆柱体，其直径为1cm，长度为2cm ;活动部件2为圆柱体，其直径为5cm ;第一罩子4和第二罩子5的材质为铝，因为铝能够吸收反应过程中产生的射线；第一罩子4和第二罩子5形状均为两侧都开口的圆锥体；第一罩子4的上端口径大小为7cm，深度为Icm ;第二罩子5的下端口径为9cm,深度为4cm。需要说明的是，第二罩子5的下端口径要大于第一罩子4的上端口径，且第二罩子5的深度要大于第一罩子4的深度3cm以上，以防止第一罩子4与第二罩子5短路；为了保证活动部件2在上下移动的过程中第二罩子5不碰到萃取机本体8，在安装过程中要确保第二罩子5的最低端离取机本体8的最小距离保持在10cm。在安装过程中，需要注意的是石墨盘6是通过活动部件2带动从而进行位置调节；因为萃取机本体8必须与石墨盘6和电源线7绝缘，当活动部件2上下左右在一定范围活动时，一定得确保第二罩子5和第一罩子4不能接触，同时确保第二罩子5和萃取机本体8不能接触。采用本实施例提供的离子分离装置，能很好的避免绝缘子被污染，从而保证其绝缘性性能。实施例二由于实施例一中需要第二绝缘子3’长度较长，浪费材料，本实施例在实施例一的基础上做了小幅改进。请参考图3，本实施例提供一种离子分离装置，包括第一绝缘体1，活动部件2，第二绝缘体3’，第一罩子4’，第二罩子5’，石墨盘6,电源线7,萃取机本体8。请参考图4，第二绝缘子3’通过螺丝固定在活动部件2的上端。由于第二绝缘子3’无需固定在活动部件2的内部，从而可以减少第二绝缘子3’的长度。请参考图3，由于其他部件的连接方式和材料都没有变化，在此就不再赘述彼此之间的连接方式和使用材料。在本实施例中，需要特别指出的是，第一罩子4’和第二罩子5’的形状为圆柱体；第一罩子4’上端的口径为6cm,深度为2cm ;第二罩子5’下端的口径为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子分离装置，其特征在于，包括：萃取机本体，顶部提供一开口；第一绝缘子，固定于所述萃取本体机开口内；活动部件，下端固定连接在所述第一绝缘子的上端；第一罩子，固定连接在所述活动部件上端的外周，并且开口朝上；第二绝缘子，下端与所述活动部件的定端固定连接；第二罩子，固定连接在所述第二绝缘子上端的外周表面，开口朝下并罩在所述第一罩子的外围；石墨盘，位于所述第二罩子上方并电连接所述第二罩子，所述石墨盘的盘面垂直于所述第二绝缘子上端表面；电源线，一端连接所述第二罩子，另一端连接一电源。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许飞，陈立峰，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：