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本实用新型提出的一种离子分离装置，通过在绝缘子外围添加开口向上的第一罩子和开口向下并罩在第一罩子外围的第二罩子来保护绝缘子，避免其遭受污染，从而确保绝缘子的绝缘性，使石墨盘与萃取机本体完全绝缘，进而延长离子分离装置的工作时间。...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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