一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置制造方法及图纸

技术编号:8278843 阅读:208 留言:0更新日期:2013-01-31 19:55
本实用新型专利技术涉及一种薄膜涂覆装置,特别涉及一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置。主要解决现有浸泡法前驱液易受环境影响、流延法对设备要求高的技术问题。技术方案为:一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,包括放带轮、涂覆轮、流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉和收卷轮,所述放带轮和收卷轮分别设置在两个密闭空间内,基带经放带轮、涂覆轮以及对应的流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉、导向轮,最后由收卷轮卷收。本实用新型专利技术主要用于对基材表面进行超导薄膜涂覆。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种薄膜涂覆装置,特别涉及一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置
技术介绍
第二带高温超导带材(2G-HTS)是在双轴织构的金属基体上外延生长Y(RE) 123(RE=Nd, Sm等稀土元素)超导薄膜,是当今国际上超导材料研究的热点问题。实现多层膜结构的外延生长是2G-HTS的成材中的关键技术难题,目前短样涂层普遍采用的有旋涂法(spin-coating),而长样动态涂层主要采用浸泡法(dip-coating),流延法(slot-die coating)等涂覆方法。对于浸泡法,环境对前驱液的影响较大,不利于长时间连续化生产;而流延法对溶液保护较好,但连续均匀的流延膜依赖于系统稳定的机械性能,对装置的电机性能,机械加工精度等都要求较高。
技术实现思路
本技术的目的是提高一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,主要解决现有浸泡法前驱液易受环境影响、流延法对设备要求高的技术问题。我们结合浸泡法和流延法的各自优点,设计了一种新型浸泡式动态流延薄膜涂覆装置。本技术的技术方案为一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,包括放带轮、涂覆轮、流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉和收卷轮,所述放带轮和收卷轮分别设置在两个密闭空间内,基带经放带轮、涂覆轮以及对应的流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉、导向轮,最后由收卷轮卷收。放带轮配有具有阻尼轴承,使放带轮上的带材始终处于拉紧状态,也防止长带在涂层槽和其后的热处理炉区松弛下垂。所述流延头由注射泵和储液槽组成,储液槽开有狭缝,前驱液由注射泵注入并控制出口储液槽液面高度恒定。放带轮、收卷轮均连接可逆电机,实现带材的反向回收功能。本技术的有益效果涂覆装置能对涂层面所需溶液进行定量控制,涂层面暴露外界面积小、时间短;对定向轮的刚性和同轴性要求有所降低,便于加工。走带速度可O.01-10m/min范围可调节。薄膜前驱液采用注射泵密封储存并能定量精确推出,有利于动态生产中保持前驱液的稳定性;涂覆采用上端开有圆弧储液槽的狭缝挤出装置,增加了薄膜均匀涂覆的窗口。放带轮的阻尼和收圈轮的无极调速设计,可使带材始终处于可调控的柔性拉紧状态,防止在走带过程中的松弛下垂现象出现;选用可逆向运转的放带轮、收卷轮的可逆电机,可实现带材的反向回收功能。附图说明图I为本技术结构示意图。图2为本技术涂覆机构结构示意图。图中1_放带轮,2-涂覆轮,3-注射泵,4-储液槽,5-张力控制传感器,6-导向轮,7-热处理炉,8-收卷轮,9-基带,10-狭缝。具体实施方式参照图I,一种化学溶剂薄膜动态涂覆系统,包括放带轮I、涂覆轮2、流延头、张力控制传感器5、导向轮6、热处理炉7和收卷轮8,所述放带轮I和收卷轮8分别设置在两个密闭空间内,基带9经放带轮I、涂覆轮2以及对应的流延头、张力控制传感器5、导向轮6、热处理炉7、导向轮6,最后由收卷轮8卷收。放带轮I配有具有阻尼轴承,使放带轮上的基带材始终处于拉紧状态,也防止长带在涂层槽和其后的热处理炉区松弛下垂。流延头内含储液槽4,储液槽4包括内储液槽和出口储液槽,两者通过狭缝10连接,保证溶液均匀从内储液槽流入出口储液槽,而出口储液槽呈圆弧形设计。这些设计有益于液面高度和有效接触液面的稳定控制。前驱液由注射泵3注入并控制出口储液槽液面高度恒定。放带轮I、收卷轮8均连接可逆电机,实现薄带材的反向回收功能。权利要求1.一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,其特征是包括放带轮、涂覆轮、流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉和收卷轮,所述放带轮和收卷轮分别设置在两个密闭空间内,基带经放带轮、涂覆轮以及对应的流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉、导向轮,最后由收卷轮卷收。2.根据权利要求I所述的一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,其特征是所述流延头带有注射泵。3.根据权利要求I所述的一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,其特征是所述流延头,其包含内储液槽和出口储液槽,两者通过狭缝连接,出口储液槽呈圆弧形。4.根据权利要求I所述的一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,其特征是所述的放带轮配有具有阻尼轴承。专利摘要本技术涉及一种薄膜涂覆装置,特别涉及一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置。主要解决现有浸泡法前驱液易受环境影响、流延法对设备要求高的技术问题。技术方案为一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,包括放带轮、涂覆轮、流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉和收卷轮,所述放带轮和收卷轮分别设置在两个密闭空间内,基带经放带轮、涂覆轮以及对应的流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉、导向轮,最后由收卷轮卷收。本技术主要用于对基材表面进行超导薄膜涂覆。文档编号B05C11/10GK202700755SQ20122038322公开日2013年1月30日 申请日期2012年8月4日 优先权日2012年8月4日专利技术者蔡传兵, 白传易, 刘志勇, 鲁玉明 申请人:上海上创超导科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种浸泡式动态流延薄膜涂覆装置,其特征是包括放带轮、涂覆轮、流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉和收卷轮,所述放带轮和收卷轮分别设置在两个密闭空间内,基带经放带轮、涂覆轮以及对应的流延头、张力控制传感器、导向轮、热处理炉、导向轮,最后由收卷轮卷收。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡传兵白传易刘志勇鲁玉明
申请(专利权)人:上海上创超导科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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