【技术实现步骤摘要】
本技术的实施例涉及具体地用于控制线锯的线(wire)的温度、更具体地用于控制线网(wire web)的温度分布的线锯控制系统；线锯；用于控制线锯的线的温度的方法；以及用于操作线锯的方法。现有的线锯可以利用根据本技术的线锯控制系统而得到翻新。本技术具体地涉及多线锯。本技术的线锯具体地适用于切割或锯切诸如硅或石英的块体等的坚硬材料，例如适用于切割硅晶片、用于切方机(squarer)、剪切机等。
技术介绍
线锯用于从诸如硅等的一块坚硬材料上切割出块状体或砖状体、薄片(例如半导体晶片)等。在这样的设备中，从线轴进给线，并且线由线导引筒引导和张紧。用于锯切的线一般地设置有研磨材料。作为一种选择，研磨材料能够以浆料的方式提供。这可以在线接触要被切割的材料之前在短时间内完成。因此，研磨剂被线承载到切割位置用于切割材料。作为另一种选择，研磨剂可利用涂覆设置在线上，例如金刚石线那样。例如，金刚石颗·粒可通过涂覆设置在金属线上，其中金刚石颗粒嵌入在线的涂层中。从而，研磨剂与线稳固地连接。线由线导引器引导和/或张紧。这些线导引器一般地覆盖有一层合成树脂，并且刻画有具有非常精确的几何形...
【技术保护点】
一种线锯控制系统，其被配置为控制线锯的线的温度，所述线锯适用于切割晶片，所述线锯控制系统包括：a)温度传感器，其用于测量所述线的温度；b)控制器，其用于基于所测量的温度来控制所述线锯的至少一个操作参数。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普·那斯卡，
申请(专利权)人：应用材料瑞士股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。