线锯控制系统和线锯技术方案

本公开提供了线锯控制系统和线锯。所提供的线锯控制系统(1)用于操作线锯(100)。线锯适用于切割晶片(302、304、306、306)。线锯控制系统被配置为控制线锯的线(203)的温度，并且包括：温度传感器(20)，其用于测量线的温度；以及控制器(25)，其用于基于所测量的温度来控制线锯的至少一个操作参数。测量温度的步骤具体地包括测量温度分布。此外，提供了用于控制温度以及用于操作线锯的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例涉及具体地用于控制线锯的线(wire)的温度、更具体地用于控制线网(wire web)的温度分布的线锯控制系统；线锯；用于控制线锯的线的温度的方法；以及用于操作线锯的方法。现有的线锯可以利用根据本专利技术的线锯控制系统而得到翻新。本专利技术具体地涉及多线锯。本专利技术的线锯具体地适用于切割或锯切诸如硅或石英的块体等的坚硬材料，例如适用于切割娃晶片、用于切方机(squarer)、剪切机等。
技术介绍
线锯用于从诸如硅等的一块坚硬材料上切割出块状体或砖状体、薄片(例如半导体晶片)等。在这样的设备中，从线轴进给线，并且线由线导引筒引导和张紧。用于锯切的线一般地设置有研磨材料。作为一种选择，研磨材料能够以浆料的方式提供。这可以在线接触要被切割的材料之前在短时间内完成。因此，研磨剂被线承载到切割位置用于切割材料。作为另一种选择，研磨剂可利用涂覆设置在线上，例如金刚石线那样。例如，金刚石颗粒可通过涂覆设置在金属线上，其中金刚石颗粒嵌入在线的涂层中。从而，研磨剂与线稳固地连接。线由线导引器引导和/或张紧。这些线导引器一般地覆盖有一层合成树脂，并且刻画有具有非常精确的几何形状和尺寸的沟槽。线绕线导引器卷绕并且形成网或线网。在锯切期间，线以相当大的速度移动。线网产生了与保持要被锯切的工件的支撑梁或支撑件的前进相反的力。在锯切期间，要被锯切的工件移动通过线网，其中该移动的速度决定切割速度和/或在给定的时间量内可被锯切的有效切割面积。一般地，为了减小切口的厚度并且从而减少浪费的材料，倾向于使用较细的线。还期望使用金刚石线。这些细线和金刚石线通常更容易受损，并且在较高的应变下，线更容易断裂。此外，期望提高切割速度以提高线锯的产量。用于使工件移动通过网的最大速度以及在给定的时间量内的最大有效切割面积受到若干因素的限制，这些因素包括线速度、要被锯切的材料硬度、干扰影响、期望的精度等。当速度增大时，在线上的应变一般地也会增大。因此，在较高的锯切速度下，避免线的损坏、不必要的磨损、失效或断裂的上述问题甚至更加关键。诸如可实现更高的锯切速度等的金刚石线的优势，可伴随有诸如对断裂的较低的抵抗力以及每单位长度价格更高等的方面。当采用金刚石线时，可以进行测量以确保对于断裂的较高的倾向性不会由于停工时间而导致产量降低。以避免或减小锯切质量波动、锯切宽度波动、线的振荡、或者甚至线的断裂的方式来操作线锯是非常重要的。在最坏的情况下，如果发生断裂，可能出现有害的结果。线的自由端可以不受控的方式在机器中移动，可能损坏线导引系统或机器的其他部分。此外，如果线断裂并且继续移动，则要将其从要锯切的对象中扯出。此外，锯切过程经受优化以保持成本尽可能低。除了避免由于例如线特性的波动造成的不适当的锯切质量，或者甚至是由于线的失效或断裂造成的停工之外，还必须优化处理的总进给速率以实现最大的生产力。已知的线锯通常包括以下设置的设定值:用于铸块通过网的进给速率，线速度，线进入和退出网的张力，浆料流率，以及浆料温度。一旦切割开始以后，监测浆料密度以及可选地浆料粘度、浆料温度以及有时动力化(motorization)参数，以允许最终用户跟进与处理相关的参数。然而，事实证明这不能提供用于优化锯切过程的足够的信息。
技术实现思路
根据上述内容，提供了一种用于操作线锯的线锯控制系统。线锯适用于切割晶片。线锯控制系统被配置为控制线锯的线的温度，并且包括:温度传感器，其用于测量线的温度；以及控制器，其用于基于所测量的温度来控制线锯的至少一个操作参数。根据一个方面，提供了包括这里所述的线锯控制系统的线锯。具体地，线锯可以是多线锯。根据另一方面，现有的线锯可利用这里所述的线锯控制系统来翻新。公开了用于翻新线锯的方法，该方法包括将这里所述的线锯控制系统提供给线锯。根据又一方面，提供了用于控制线锯的线的温度的方法。线锯适用于切割晶片。该方法包括以下步骤:测量线的温度，基于所测量的温度确定线锯的至少一个操作参数，以及基于所述至少一个操作参数来控制线锯。根据又一方面，提供了用于操作线锯的方法。用于控制线锯的方法包括这里所述的用于控制线的温度的方法。其他的优势、特征、方面和细节从所附权利要求、说明书和附图中将变得明显。实施例还针对用于实现所公开的方法的装置，并且包括用于执行各个所述方法步骤的装置部件。这些方法步骤可以硬件组件、通过适当的软件编程的计算机、两者的任意组合的方式或以任何其他方式来执行。此外，根据本专利技术的实施例还针对所述装置的操作方法。其包括用于实现装置的每个功能的方法步骤。附图说明为了能够详细理解本专利技术的上述特征的方式，可参考实施例进行上面简要概述的专利技术的更具体的描述。附图涉及本专利技术的实施例并且被描述为如下:图1示出了根据这里所述的实施例的线锯控制系统和线锯的示意性侧视图。图2示出了根据这里所述的实施例的线锯控制系统和线锯的示意性俯视图。图3示出了根据这里所述的实施例的线锯控制系统和线锯的概要的示意性前侧视图。图4示出了根据这里所述的实施例的线锯控制系统和线锯的概要的示意性前侧视图。图5示出了图示了根据第一示例的线的测量温度的示意图。图6示出了图示了根据第二示例的线的测量温度的示意图。具体实施例方式现在将详细提及本专利技术的各个实施例，各个实施例的一个或多个示例在附图中图示。在关于附图的以下说明中，相同的附图标记指的是相同的组件。通常，仅描述相对于各个实施例的不同之处。各个示例以对本专利技术进行解释的方式提供，并且不意在作为对本专利技术的限制。此外，作为一个实施例的一部分说明或描述的特征可用在其他实施例上或与其他实施例结合以产生另一实施例。本说明意在包括这样的修改和变体。在下面的描述中，“线锯控制系统”或简单地“控制系统”可理解为控制线锯的一部分或全部功能的系统。具体地说，这可以通过线锯控制系统的控制器来完成。一般地，这里所理解的线锯可以是剪切机、切方机或晶片切割线锯。通常，控制系统被连接到传感器以监测机器运行和锯切过程的参数。线锯控制系统包括温度传感器和控制器，该控制器用于基于所测量的温度控制线锯的一个或多个操作参数。如下面将更详细地描述的，线锯控制系统还可被连接到执行器和设备以操纵使线移动的电动机。一般地，线锯控制系统可包括用于与个人交互以接收命令并报告锯切过程的状况的设备。如这里所述的控制器还可以被连接到计算机网络，以由个人或诸如计算机等的自动系统直接或远程地控制。根据这里所述的实施例，操作线锯的方法能够以计算机程序、软件、计算机软件产品和相关的控制器等的方式来实现，其中相关的控制器可通常具有CPU、存储器、用户接口以及与线锯的对应组件进行通信的输入输出装置。这些组件可以是如下组件中的一个或多个:电动机、线断裂检测单元、线追踪装置等，下面将更详细地描述。通常，线锯包括在线移动方向上输送和引导线的线导引器。线锯控制系统还提供线张力的控制。所提供的线具体地在线锯的切割区域中形成线网。因此，术语“线网”通常涉及由线在两个导引筒之间所形成的网。应该明白，线网可以包括多于一个工作区域，工作区域定义为执行锯切处理的区域。因此，根据这里所述的一些实施例，线网可以具有由一个或多个线形成的多个工作区域。例如，如下面将参考图1至图3的实施例更加详细地描述的，线锯可包括两个水平定向的线网，线网例如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线锯控制系统，其被配置为控制线锯的线的温度，所述线锯适用于切割晶片，所述线锯控制系统包括：a)温度传感器，其用于测量所述线的温度；b)控制器，其用于基于所测量的温度来控制所述线锯的至少一个操作参数。

【技术特征摘要】
2011.10.28 EP 11187103.41.一种线锯控制系统，其被配置为控制线锯的线的温度，所述线锯适用于切割晶片，所述线锯控制系统包括: a)温度传感器，其用于测量所述线的温度； b)控制器，其用于基于所测量的温度来控制所述线锯的至少一个操作参数。2.根据权利要求1所述的线锯控制系统，其中所述温度传感器是红外传感器。3.根据权利要求1或2所述的线锯控制系统，包括多个温度传感器。4.根据权利要求3所述的线锯控制系统，包括至少五个温度传感器。5.根据权利要求3所述的线锯控 制系统，其中所述多个温度传感器被安装在机架上。6.根据权利要求5所述的线锯控制系统，其中所述机架被布置为与线方向垂直。7.根据权利要求1或2所述的线锯控制系统，其中所述至少一个操作参数是从由以下各项构成的组中选取的:线速度、工作台速度、浆料流率、浆料温度、冷却空气流率和冷却空气温度。8.一种线锯，包括: a.线，其适用于切割晶片； b.线锯控制系统，其被配置为控制所述线的温度，所述线锯控制系统包括: i)温度传感器，其用于测量所述线的温度；以及 )控制器，其用于基于所测量的温度来控制所述线锯的至少一个操作参数。9.根据权利要求8所述的线锯，其中所述至少一个操作参数是从由以下各项构成的组中选取的:线速度、工作台速度、浆料流率、浆料温度、冷却空气流率和冷却空气温度。10.根据权利要求8或9所述的线锯，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普·那斯卡，
申请(专利权)人：应用材料瑞士有限责任公司，
类型：发明
国别省市：