【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于固体材料线切割及多线切割的方法及实施该方法的专用设备。
技术介绍
现有的专用于固体材料、例如但不限于包括硅、氧化铝等硬脆晶体材料的线切割及多线切割的方法,通常包括步骤:使用单根或多根切割线通过布线系统排列成包含有至少I条切割线的切割线或切割线网,使切割线做切割运动的同时,使待切割固体材料与切割线或切割侧切割线网接触,通过切割线本身的切割作用,或由切割线携带的切割或研磨砂浆的切割作用,实现待切割固体材料的切割,包括晶体锭的剖方,或切片,等等。其中,切割线的切割运动包括例如单向运动、双向往复运动、旋转运动、振动及其复合运动等等。使用现有的线切割方法切割硬脆材料时,通常切割效率较低、切割精度不高,成本高,并且切割终了时被切割材料易产生出线边缘崩边等损伤。为此,中国专利说明书ZL03133682.5介绍了采用超声波振动装置的超声波线切割锯,利用超声能量辅助金刚石线锯切割,实现了高效率、高精度、低成本的线锯方法。但是,这种线锯需要把超声波变幅杆与金刚石线的一端固定连接,只能适用于往复走线的短线锯切割,无法用于单向走线切割,也无法实现连续切割。中国专利申请 ...
【技术保护点】
一种超声波线切割方法,包括步骤:(1)设置包含有切割侧的至少一根切割线或切割线网;(2)提供与至少部分切割侧切割线接触的液体,并在其中浸入超声波发生装置的超声发射表面;(3)使切割线切割待切割物体,并启动超声波发生装置。
【技术特征摘要】
1.一种超声波线切割方法,包括步骤: (1)设置包含有切割侧的至少一根切割线或切割线网; (2)提供与至少部分切割侧切割线接触的液体,并在其中浸入超声波发生装置的超声发射表面; (3)使切割线切割待切割物体,并启动超声波发生装置。2.根据权利要求1的方法,其中,所述的与切割线接触的液体任选容纳于容液槽中的液体和悬空的基本上连续流动的液体之一,所述的部分切割侧切割线和所述的超声发射表面浸没在该液体中。3.根据权利要求1或2所述的超声波线切割方法,其中,所述的超声发射表面的位置任选为在所述的切割侧切割线的上方、在所述的切割侧切割线的下方、在所述的切割侧切割线的左侧、在所述的切割侧切割线的右侧、在所述的切割侧切割线的切入待切割物体的一侦U、在所述的切割侧切割线的切出待切割物体的一侧、正对所述的切割前沿、靠近切割线的同时远离待切割物体几种位置之一。4.根据权利要求1或2所述的超声波线切割方法,其中,所述的切割线任选自金属切割线、非金属切割线、固结磨料切割线之一。5.根据权利要求1或2所述的超声波线切割方法,其中,所述的切割线的切割方向任选自从待切割物体下方向上方切割、从待切割物体上方向下方切割、从待切割物体的左侧向右侧切割、从待切割物...
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